バッテリー駆動ワイヤレス医療機器におけるバッテリー寿命の最適化 | キーサイト
アプリケーションノート
はじめに
Keysight B1500A 半導体デバイス・アナライザ
パラメトリック特性評価には、電流－電圧(IV)測定とキャパシタンス－電圧(CV)測定の両方が必要です。近年のプロセステクノロジーの発展に伴い、ウエハー上のデバイスに対して正確なIV測定とCV測定を1パスで実行することが求められることが多くなってきました。キーサイト・テクノロジーのB1500A半導体デバイス・アナライザは、新しいシングルスロットのマルチ周波数キャパシタンス測定ユニット(MFCMU)と2台のSMUにより、同じメインフレーム内でIV測定とCV測定を1パスでサポートします。
IV測定とCV測定の両方を1つのプローブステーションで実行することは容易ではありません。SMUによるIV測定にはトライアキシャルコネクタが用いられるのに対して、CMUによるCV測定にはBNCコネクタが用いられます。これら2種類の測定の切り替えは面倒で時間がかかり、測定誤差の原因となります。例えば、プロービングニードルをウエハー上に保持したまま、測定ケーブルを手動で交換する必要があるとします。このような場合、ケーブルを交換する際に摩擦によって発生する電荷によって、デバイスが損傷されるおそれがあります。ケーブル接続の問題だけでなく、正確な結果を得るために、キャパシタンス測定に関連する誤差補正パラメータも正しく設定する必要があります。
B1500AのSMU CMU統合ユニット(SCUU)は、こういった測定の問題を解決します。SCUUを使用したKeysight B1500A半導体デバイス・アナライザでは、複雑で費用のかかる外部スイッチングマトリクスなしで、IV測定とCV測定の切り替えを正確かつ簡単に行うことができます。
本アプリケーションノートでは、B1500Aを使用して正確なIV/CV測定システムを容易に構成する方法を示します。