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4881HV 高電壓晶圓測試系統

Keysight 4881HV 高壓測試系統是一項突破性的解決方案，適用於高達 3 kV 的參數測試，可在一次測試中同時支援高壓 (HV) 和低壓 (LV) 測試。

產品影像

  • 附加功能

    High voltage CV measurement 

  • 最大量測針腳數

    29

  • 最小電壓量測解析度

    2 µV

  • 最小電流量測解析度

    10 fA

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焦點訊息

Keysight 4881HV 高電壓晶圓測試系統是一款突破性的解決方案，適用於高達 3 kV 的參數測試，可在一次測試中同時支援高電壓 (HV) 和低電壓 (LV)。

  • 可靈活地在任何輸出接腳上配置高壓切換矩陣，支援多達 29 個接腳和 3 kV。
  • 結合高壓 (HV) 和低壓 (LV) 源/量測單元，以實現精確的電流-電壓量測，解析度可達次 pA 等級。
  • 進行高電壓電容量測，直流偏壓最高可達 1 kV。
  • 滿足工廠指令和 SEMI S2 合規性等法規要求。
  • 取得對 200 mm / 300 mm 探針台和工廠自動化的支援。

服務與支援