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4881HV 高電圧ウェハーテストシステム

キーサイト 4881HV 高電圧試験システムは、最大3kVまでのソリューション 画期的なソリューション であり、高電圧（HV）と低電圧（LV）をワンパス試験でサポートします。

製品画像

  • 追加機能

    High voltage CV measurement 

  • 最大測定ピン数

    29

  • 最小電流測定分解能

    2 µV

  • 最小電流測定分解能

    10 fA

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ハイライト

キーサイト4881HV高電圧ウェーハテストシステムは、最大3 kVまでのパラメトリックテスト向けの画期的なソリューションであり、高電圧（HV）と低電圧（LV）をワンパスでサポートします。

  • 最大29ピン、3 kVのHVスイッチングマトリクスを任意の出力ピンに柔軟に構成可能。
  • HVおよびLVソース／メジャーユニットを組み合わせることで、サブpA分解能までの高精度な電流-電圧測定が可能になります。
  • 最大1 kVのDCバイアスで高電圧静電容量測定を行います。
  • 工場要件や SEMI S2 などの規制・安全基準に対応
  • 200 mm / 300 mm ウェハ・プローバーおよびファクトリーオートメーションをサポート

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