- 概要
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- サポート
ウェハーおよびパッケージ済み半導体の評価のためのスケーラブルなプラットフォーム
キーサイトのパラメトリックテストソリューションは、高性能測定器と柔軟な自動化を組み合わせることで、初期開発から大量生産までの半導体デバイス評価を加速します。高精度な電流-電圧 (IV)、静電容量-電圧 (CV)、および信頼性テストを提供するこれらのスケーラブルなシステムは、デバイス性能を最適化し、プロセス変動を監視し、長期的な信頼性を確保するのに役立ちます。ウェーハプローバや生産環境とのシームレスな統合のために設計されたキーサイトのパラメトリックソリューションは、今日の先進的な半導体技術に必要な精度、速度、効率を提供します。 当社の人気構成のいずれかの見積もりを今すぐご請求ください。 選択にお困りですか？以下のリソースをご覧ください。
高スループット自動化
マルチサイト機能と高速でプログラマブルなスイッチングによりテスト効率を向上させ、大量のウェーハプロービングや多品種のパッケージデバイス環境での使用に最適です。
柔軟なテスト統合
高精度SMU、静電容量測定ユニット、パルスモジュール、信頼性ツールを1つのスケーラブルなシステムにシームレスに組み合わせることで、幅広いテストシナリオに対応します。
プロセスと信頼性に重点
包括的なパラメトリック、パルスIV、および長時間のストレス測定を実行し、デバイスの認定をサポートし、さまざまな動作条件下での信頼性を監視します。
カスタマイズ可能なソフトウェア
モジュラーソフトウェアプラットフォームを活用して、生産、モデリング、または探索的なデバイス研究のためにテストシーケンスと自動化スクリプトを調整します。
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最小電流測定分解能
0.1 fA ～ 1 pA
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最小電流測定分解能
2 µV
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最大測定ピン数
2 ～ 100
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追加機能
CV measurement, SPGU output, One-pass optical & electrical test, High voltage CV measurement
人気の構成
パラレル・パラメトリック・テスト・システム
4080 シリーズ・パラメトリック・テスト・システム
大規模パラレル・パラメトリック・テスト・システム
サービスとサポート
厳選されたサポートプランと、優先的な対応および迅速なターンアラウンドタイムにより、迅速なイノベーションを実現します。
予測可能なリースベースのサブスクリプションとフルライフサイクル管理ソリューションにより、ビジネス目標をより迅速に達成できます。
KeysightCareのサブスクライバーとして、コミットされた技術サポートなど、より質の高いサービスをご体験ください。
テストシステムが仕様どおりに動作し、ローカルおよびグローバルな標準に準拠していることを保証します。
社内での講師主導トレーニングやeラーニングにより、迅速に測定を実施できます。
キーサイトのソフトウェアをダウンロードするか、最新バージョンにアップデートしてください。
よくあるご質問
パラメトリックテストソリューションは、半導体デバイスの電気的特性評価を行い、製造、モデリング、信頼性ワークフロー全体でプロセスパラメータを監視するために使用される包括的なシステムです。デジタルロジックやアナログ動作を検証するファンクションテスターとは異なり、パラメトリックテスターは抵抗、容量、しきい値電圧、リーク電流、絶縁耐力などの基本的な電気的特性を測定します。これらのシステムは、SMU、CVメーター、スイッチングマトリクスなどの高精度な測定器を、自動化ソフトウェアとウェハプローブインターフェースと統合しています。パラメトリックテスターは高い精度と再現性のために設計されており、多くの場合、並列テストサイトと完全自動プローブステーション制御をサポートします。これにより、プロセス開発、ロット認定、および生産監視中に、主要なデバイス特性の迅速かつ非破壊的なテストが可能になります。そのスケーラビリティと自動化への対応性により、ベンチトップアナライザやスタンドアロン測定器とは一線を画します。
半導体製造工場では、デバイスの性能と歩留まりに影響を与える重要なパラメータを監視するために、パラメトリックテストシステムがインラインおよびエンドオブラインで導入されています。ウェーハ製造中、プロセス制御モニター (PCM) またはテスト構造が機能デバイスと並行して配置されます。パラメトリックテスターはこれらの構造をプローブし、ゲート酸化膜の完全性、ジャンクションリーク、配線抵抗、ビアの信頼性、トランジスタ特性を評価します。収集されたデータは、生産ウェーハに影響を与える前に、リソグラフィ、エッチング、インプラント、またはアニーリングの問題をエンジニアが検出するのに役立ちます。結果は統計的プロセス制御 (SPC) システムに供給され、傾向の追跡、逸脱の特定、および是正措置の実施に利用されます。大量生産環境では、パラメトリックテスターは、測定忠実度を損なうことなく高いテストスループットを確保するために、高速なセトリング時間、正確な低電流測定、およびマルチサイト機能を備えている必要があります。
パラメトリックテストソリューションは、デバイスレベルとプロセスレベルの両方の評価をカバーする幅広いテストタイプをサポートしています。これには以下が含まれます。
- DC IVテスト: ゲート、ドレイン、バルク電流測定、しきい値電圧とリーク電流の評価、オン/オフ比と抵抗率。
- CV測定：ドーピングプロファイル、酸化膜厚、界面トラップ密度を抽出するための静電容量-電圧プロファイリング。
- パルス測定: パワーデバイスにおける熱効果を回避したり、動的パラメータを抽出したりするために使用されます。
- ストレス試験と信頼性評価：時間依存誘電破壊 (TDDB)、バイアス温度不安定性 (BTI)、ホットキャリア注入 (HCI)、およびエレクトロマイグレーション試験。
- ウェハーレベルテスト: 非パッケージデバイスは、自動プローバを使用して、6インチ、8インチ、または12インチのウェハー全体でダイレベルでプローブされます。
これらのソリューションは、CMOS、FinFET、RFデバイス、パワー半導体、およびGaN、SiC、または2Dトランジスタなどの新素材デバイスと一般的に使用されます。エンジニアは、デバイスの複雑さ、テクノロジーノード、および信頼性認定基準に合わせてテスト計画を構成できます。
テスト自動化は、最新のパラメトリックテストシステムの要であり、特にスループットと一貫性が重要となるウェハーレベルおよび生産環境において不可欠です。自動化は、ハードウェアレベル制御（例：ウェハーローダー、プローバー、サーマルチャック）、テスト実行（例：マルチサイトシーケンス、高速リレースイッチング）、およびデータ分析/レポート作成を網羅します。キーサイトのWaferPro Expressやその他のカスタマイズ可能な自動化スイートなどのソフトウェアプラットフォームは、グラフィカルなワークフロー、条件分岐、ループを備えたテストプランの作成を可能にします。複数のダイを同時にテストする並列テストは、ウェハーあたりのテスト時間を大幅に短縮します。さらに、歩留まり管理システムやデータベースツールとの統合により、リアルタイムのデータロギング、統計的プロセス制御、および下流の電気テストまたは故障解析データとの相関が可能になります。これらの機能はすべて、ヒューマンエラーを削減し、歩留まりまでの時間を短縮し、グローバルなファブやラボ全体でスケーラブルで再現性のあるテスト戦略を可能にします。
先端技術向けのパラメトリックテストシステムを選択する際には、性能、スケーラビリティ、および統合を慎重に検討する必要があります。主要な要因は以下のとおりです。
- 測定機能： システムが、フェムトアンペアレベルの電流感度、高速電圧掃引、およびスケーリングされたジオメトリや先進材料に適した高精度な静電容量測定をサポートしていることを確認してください。
- チャネル密度と柔軟性: 多ピンデバイスやテスト構造には、多数のチャネルと柔軟なスイッチング構成を備えたシステムが必要です。
- 信頼性ストレス機能：システムがTDDB、BTI、またはNBTIの研究のために、長時間のバイアス印加、温度制御、および自動ロギングをサポートしているかどうかを評価します。
- ウェーハプローバ統合： 完全な自動化には、主要なプローバブランドとの互換性、およびウェーハマッピング、アライメント、温度チャック制御のサポートが必要です。
- ソフトウェアエコシステム: 直感的なテストスクリプト作成、リアルタイムデータ可視化、合否判定レポート、SPC統合機能を備えたソリューションを探してください。外部解析ツール（Python、JMP、MATLABなど）との互換性により、柔軟性が向上します。
- モジュラー・スケーラビリティ： デバイスの複雑性が増大するにつれて（例えば、より多くのサイト、追加の計測器、または新しいテストルーチンへの対応など）、大規模な再構成なしにシステムを拡張できることを保証します。