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Piattaforme scalabili per la convalida di semiconduttori a livello di wafer e confezionati
Le soluzioni di test parametrici Keysight combinano strumenti di misura ad alte prestazioni con automazione flessibile per accelerare la valutazione dei dispositivi a semiconduttore dalla fase di sviluppo iniziale alla produzione di massa. Offrendo test precisi di corrente-tensione (IV), capacità-tensione (CV) e affidabilità, questi sistemi scalabili aiutano a ottimizzare le prestazioni dei dispositivi, a monitorare la variabilità del processo e a garantire l'affidabilità a lungo termine. Progettate per un'integrazione perfetta con i wafer prober e gli ambienti di produzione, le soluzioni parametriche Keysight offrono l'accuratezza, la velocità e l'efficienza necessarie per le attuali tecnologie avanzate dei semiconduttori. Richiedete un preventivo per una delle nostre configurazioni più diffuse oggi stesso. Avete bisogno di aiuto nella scelta? Consultate le risorse qui sotto.
Automazione ad alta produttività
Aumenta l'efficienza dei test con funzionalità multi-sito e commutazione veloce e programmabile, ideale per l'uso in ambienti con volumi elevati di test su wafer o dispositivi confezionati altamente diversificati.
Integrazione flessibile dei test
Combina perfettamente SMU di precisione, unità di misurazione della capacità, moduli a impulsi e strumenti di affidabilità in un unico sistema scalabile per adattarsi a un'ampia gamma di scenari di test.
Attenzione al processo e all'affidabilità
Eseguire misurazioni parametriche complete, IV pulsate e di stress di lunga durata per supportare la qualificazione dei dispositivi e monitorarne l'affidabilità in diversi regimi operativi.
Software personalizzabile
Sfrutta le piattaforme software modulari per personalizzare le sequenze di test e gli script di automazione per la produzione, la modellazione o la ricerca esplorativa sui dispositivi.
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Minimum current measurement resolution
0.1 fA to 1 pA
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Minimum voltage measurement resolution
2 µV
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Maximum number of measurement pins
2 to 100
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Additional features
CV measurement, SPGU output, One-pass optical & electrical test, High voltage CV measurement
Configurazioni più popolari
Sistema di test parametrico parallelo
Sistemi di test parametrici serie 4080
Sistema di test parametrico massivamente parallelo
- Manuale di misurazione parametrica
- Manuale di misurazione dell'impedenza
Servizi e assistenza
Innova rapidamente grazie a piani di assistenza personalizzati e tempi di risposta e risoluzione prioritari.
Ottieni abbonamenti prevedibili basati su leasing e soluzioni complete per la gestione dell'intero ciclo di vita, in modo da raggiungere più rapidamente i tuoi obiettivi aziendali.
Beneficia di un servizio di alto livello come abbonato KeysightCare per ottenere assistenza tecnica dedicata e molto altro ancora.
Assicurati che il tuo sistema di test funzioni secondo le specifiche e soddisfi gli standard locali e globali.
Effettua misurazioni rapidamente grazie alla formazione interna con istruttore e all'e-learning.
Scarica il software Keysight o aggiorna il tuo software alla versione più recente.
Domande frequenti
Le soluzioni di test parametrici sono sistemi completi utilizzati per caratterizzare elettricamente i dispositivi a semiconduttori e monitorare i parametri di processo nei flussi di lavoro di fabbricazione, modellazione e affidabilità. A differenza dei tester funzionali che verificano la logica digitale o il comportamento analogico, i tester parametrici misurano proprietà elettriche fondamentali quali resistenza, capacità, tensione di soglia, corrente di dispersione e rigidità dielettrica. Questi sistemi integrano strumenti ad alta precisione, tra cui SMU, misuratori CV e matrici di commutazione, con software di automazione e interfacce di sonda per wafer. I tester parametrici sono progettati per garantire elevata precisione e ripetibilità, spesso supportando siti di test paralleli e il controllo completamente automatizzato della stazione di sondaggio. Ciò consente di eseguire test rapidi e non distruttivi delle caratteristiche chiave dei dispositivi durante lo sviluppo del processo, la qualificazione dei lotti e il monitoraggio della produzione. La loro scalabilità e predisposizione all'automazione li distinguono dagli analizzatori da banco o dagli strumenti autonomi.
Negli stabilimenti di produzione di semiconduttori, i sistemi di test parametrici vengono implementati in linea e a fine linea per monitorare i parametri critici che influenzano le prestazioni e la resa dei dispositivi. Durante la fabbricazione dei wafer, i monitor di controllo di processo (PCM) o le strutture di test vengono posizionati accanto ai dispositivi funzionali. I tester parametrici sondano queste strutture per valutare l'integrità dell'ossido di gate, la dispersione di giunzione, la resistenza di linea, l'affidabilità dei via e le caratteristiche dei transistor. I dati raccolti aiutano gli ingegneri a rilevare problemi di litografia, incisione, impianto o ricottura prima che questi abbiano un impatto sui wafer di produzione. I risultati vengono inseriti nei sistemi di controllo statistico di processo (SPC) per tracciare le tendenze, identificare le deviazioni e implementare azioni correttive. In ambienti ad alto volume, i tester parametrici devono fornire tempi di assestamento rapidi, misurazioni accurate a bassa corrente e capacità multi-sito per garantire un'elevata produttività dei test senza compromettere la fedeltà delle misurazioni.
Le soluzioni di test parametriche supportano un'ampia gamma di tipi di test, che coprono sia la valutazione a livello di dispositivo che a livello di processo. Questi includono:
- Test DC IV: misurazioni di corrente gate , drain e bulk; valutazioni della tensione di soglia e della dispersione; rapporti on/off e resistività.
- Misurazioni CV: profilatura capacità-tensione per estrarre profili di drogaggio, spessore dell'ossido e densità delle trappole di interfaccia.
- Misurazioni a impulsi: utilizzate per evitare effetti termici nei dispositivi di potenza o per estrarre parametri dinamici.
- Test di stress e caratterizzazione dell'affidabilità: rottura dielettrica dipendente dal tempo (TDDB), instabilità della temperatura di polarizzazione (BTI), iniezione di portatori caldi (HCI) e test di elettromigrazione.
- Test a livello di wafer: i dispositivi non confezionati vengono testati a livello di die su wafer da 6", 8" o 12" utilizzando prober automatizzati.
Queste soluzioni sono comunemente utilizzate con CMOS, FinFET, dispositivi RF, semiconduttori di potenza e dispositivi con nuovi materiali come GaN, SiC o transistor 2D. Gli ingegneri possono configurare il piano di test in modo che corrisponda alla complessità del dispositivo, al nodo tecnologico e agli standard di qualificazione dell'affidabilità.
L'automazione dei test è un elemento fondamentale dei moderni sistemi di test parametrici, specialmente negli ambienti di produzione e a livello di wafer, dove la produttività e la coerenza sono fondamentali. L'automazione comprende il controllo a livello hardware (ad esempio, caricatore di wafer, prober, mandrino termico), l'esecuzione dei test (ad esempio, sequenziamento multi-sito, commutazione rapida dei relè) e l'analisi/reportistica dei dati. Piattaforme software come WaferPro Express di Keysight o altre suite di automazione personalizzabili consentono la creazione di piani di test con flussi di lavoro grafici, ramificazioni condizionali e loop. I test paralleli, in cui più die vengono testati contemporaneamente, riducono significativamente il tempo di test per wafer. Inoltre, l'integrazione con i sistemi di gestione della resa e gli strumenti di database consente la registrazione dei dati in tempo reale, il controllo statistico dei processi e la correlazione con i dati dei test elettrici a valle o dell'analisi dei guasti. Tutte queste funzionalità riducono l'errore umano, accelerano il time-to-yield e consentono strategie di test scalabili e ripetibili in tutti i fab o laboratori globali.
La scelta di un sistema di test parametrico per tecnologie avanzate richiede un'attenta valutazione delle prestazioni, della scalabilità e dell'integrazione. I fattori chiave includono:
- Capacità di misurazione: assicurarsi che il sistema supporti una sensibilità di corrente a livello di femtoampere, scansioni di tensione ad alta velocità e misurazioni accurate della capacità adatte a geometrie scalate e materiali avanzati.
- Densità dei canali e flessibilità: i dispositivi con un numero elevato di pin e le strutture di test richiedono sistemi con un numero elevato di canali e configurazioni di commutazione flessibili.
- Capacità di affidabilità sotto stress: valutare se il sistema supporta la polarizzazione a lunga durata, il controllo della temperatura e la registrazione automatizzata per studi TDDB, BTI o NBTI.
- Integrazione con wafer prober: la completa automazione richiede la compatibilità con le marche più diffuse di prober e il supporto per la mappatura dei wafer, l'allineamento e il controllo della temperatura del mandrino.
- Ecosistema software: cercate soluzioni con scripting intuitivo dei test, visualizzazione dei dati in tempo reale, reportistica pass/fail e integrazione SPC. La compatibilità con strumenti di analisi esterni (ad esempio Python, JMP, MATLAB) migliora la flessibilità.
- Scalabilità modulare: garantisce che il sistema possa essere ampliato con l'aumentare della complessità dei dispositivi, ad esempio con il supporto di più siti, strumenti aggiuntivi o nuove routine di test, senza necessità di riconfigurazioni significative.