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Plataformas escaláveis para validação de semicondutores em nível de wafer e embalados
As soluções de teste paramétrico da Keysight combinam instrumentos de medição de alto desempenho com automação flexível para acelerar a avaliação de dispositivos semicondutores, desde o desenvolvimento inicial até a produção em grande volume. Oferecendo testes precisos de corrente-tensão (IV), capacitância-tensão (CV) e confiabilidade, esses sistemas escaláveis ajudam a otimizar o desempenho dos dispositivos, monitorar a variabilidade do processo e garantir a confiabilidade a longo prazo. Projetadas para integração perfeita com testadores de wafer e ambientes de produção, as soluções paramétricas da Keysight oferecem a precisão, velocidade e eficiência necessárias para as tecnologias avançadas de semicondutores atuais. Solicite hoje mesmo um orçamento para uma de nossas configurações populares.Precisa de ajuda para selecionar? Confira os recursos abaixo.
Automação de alto rendimento
Aumente a eficiência dos testes com recursos multissite e comutação rápida e programável, ideal para uso em testes de wafer em volume ou em ambientes de dispositivos embalados de alta variedade.
Integração flexível de testes
Combine perfeitamente SMUs de precisão, unidades de medição de capacitância, módulos de pulso e ferramentas de confiabilidade em um sistema escalável para se adequar a uma ampla gama de cenários de teste.
Foco no processo e na confiabilidade
Realize medições paramétricas abrangentes, IV pulsadas e de estresse de longa duração para apoiar a qualificação do dispositivo e monitorar a confiabilidade em diferentes regimes operacionais.
Software personalizável
Aproveite as plataformas de software modulares para personalizar sequências de teste e scripts de automação para produção, modelagem ou pesquisa exploratória de dispositivos.
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Resolução Mínima de Medição de Corrente
0.1 fA até 1 pA
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Resolução Mínima de Medição de Tensão
2 µV
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Número Máximo de Pinos de Medição
2 até 100
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Características adicionais
CV measurement, SPGU output, One-pass optical & electrical test, High voltage CV measurement
Configurações mais populares
Sistema de teste paramétrico paralelo
Sistemas de teste paramétrico da série 4080
Sistema de teste paramétrico massivamente paralelo
Serviços e suporte
Inove rapidamente com planos de suporte personalizados e tempos de resposta e resolução priorizados.
Obtenha assinaturas previsíveis baseadas em locação e soluções completas de gerenciamento do ciclo de vida para atingir suas metas de negócios mais rapidamente.
Experimente um serviço diferenciado como assinante do KeysightCare para obter respostas técnicas comprometidas e muito mais.
Garanta que seu sistema de teste funcione de acordo com as especificações e atenda às normas locais e globais.
Faça medições rapidamente com treinamento interno ministrado por instrutor e eLearning.
Faça o download do software Keysight ou atualize seu software para a versão mais recente.
Perguntas frequentes
As soluções de teste paramétrico são sistemas abrangentes usados para caracterizar eletricamente dispositivos semicondutores e monitorar parâmetros de processo em fluxos de trabalho de fabricação, modelagem e confiabilidade. Ao contrário dos testadores funcionais que verificam a lógica digital ou o comportamento analógico, os testadores paramétricos medem propriedades elétricas fundamentais, como resistência, capacitância, tensão de limiar, corrente de fuga e rigidez dielétrica. Esses sistemas integram instrumentos de alta precisão, incluindo SMUs, medidores CV e matrizes de comutação, com software de automação e interfaces de sonda de wafer. Os testadores paramétricos são projetados para alta precisão e repetibilidade, geralmente suportando locais de teste paralelos e controle totalmente automatizado da estação de sonda. Isso permite testes rápidos e não destrutivos das principais características do dispositivo durante o desenvolvimento do processo, qualificação do lote e monitoramento da produção. Sua escalabilidade e prontidão para automação os diferenciam dos analisadores de bancada ou instrumentos autônomos.
Nas fábricas de semicondutores, os sistemas de teste paramétrico são implantados em linha e no final da linha para monitorar parâmetros críticos que afetam o desempenho e o rendimento dos dispositivos. Durante a fabricação de wafers, monitores de controle de processo (PCMs) ou estruturas de teste são colocados ao lado de dispositivos funcionais. Os testadores paramétricos examinam essas estruturas para avaliar a integridade do óxido de porta, o vazamento da junção, a resistência da linha, a confiabilidade da via e as características do transistor. Os dados coletados ajudam os engenheiros a detectar problemas de litografia, gravação, implantação ou recozimento antes que eles afetem os wafers de produção. Os resultados são alimentados em sistemas de controle estatístico de processos (SPC) para rastrear tendências, identificar desvios e implementar ações corretivas. Em ambientes de alto volume, os testadores paramétricos devem fornecer tempos de estabilização rápidos, medições precisas de baixa corrente e capacidade multissite para garantir alto rendimento de teste sem comprometer a fidelidade da medição.
As soluções de teste paramétrico suportam uma ampla gama de tipos de teste, abrangendo avaliações tanto ao nível do dispositivo como ao nível do processo. Estas incluem:
- Testes DC IV: medições de corrente de porta , dreno e bulk; avaliações de tensão de limiar e fuga; relações on/off e resistividade.
- Medições CV: Perfilagem de capacitância-tensão para extrair perfis de dopagem, espessura de óxido e densidade de armadilha de interface.
- Medições pulsadas: utilizadas para evitar efeitos térmicos em dispositivos de potência ou extrair parâmetros dinâmicos.
- Testes de estresse e caracterização da confiabilidade: ruptura dielétrica dependente do tempo (TDDB), instabilidade da temperatura de polarização (BTI), injeção de portadores quentes (HCI) e testes de eletromigração.
- Teste em nível de wafer: dispositivos não embalados são testados em nível de die em wafers de 6", 8" ou 12" usando testadores automatizados.
Essas soluções são comumente usadas com CMOS, FinFET, dispositivos RF, semicondutores de potência e dispositivos de novos materiais, como GaN, SiC ou transistores 2D. Os engenheiros podem configurar o plano de teste para corresponder à complexidade do dispositivo, ao nó tecnológico e aos padrões de qualificação de confiabilidade.
A automação de testes é um dos pilares dos modernos sistemas de testes paramétricos, especialmente em ambientes de produção e em nível de wafer, onde o rendimento e a consistência são fundamentais. A automação abrange o controle em nível de hardware (por exemplo, carregador de wafer, prober, mandril térmico), execução de testes (por exemplo, sequenciamento em vários locais, comutação rápida de relés) e análise/relatórios de dados. Plataformas de software como o WaferPro Express da Keysight ou outros pacotes de automação personalizáveis permitem a criação de planos de teste com fluxos de trabalho gráficos, ramificações condicionais e loops. O teste paralelo, em que vários chips são testados simultaneamente, reduz significativamente o tempo de teste por wafer. Além disso, a integração com sistemas de gerenciamento de rendimento e ferramentas de banco de dados permite o registro de dados em tempo real, o controle estatístico do processo e a correlação com dados de testes elétricos ou análises de falhas a jusante. Todos esses recursos reduzem o erro humano, aceleram o tempo de rendimento e permitem estratégias de teste escaláveis e repetíveis em fábricas ou laboratórios globais.
A escolha de um sistema de teste paramétrico para tecnologias avançadas envolve uma análise cuidadosa do desempenho, da escalabilidade e da integração. Os principais fatores incluem:
- Capacidade de medição: Certifique-se de que o sistema suporta sensibilidade de corrente ao nível de femtoampères, varreduras de tensão de alta velocidade e medições precisas de capacitância adequadas para geometrias em escala e materiais avançados.
- Densidade e flexibilidade dos canais: Dispositivos com alto número de pinos e estruturas de teste exigem sistemas com um grande número de canais e configurações de comutação flexíveis.
- Capacidade de resistência à confiabilidade: Avalie se o sistema suporta polarização de longa duração, controle de temperatura e registro automatizado para estudos TDDB, BTI ou NBTI.
- Integração do testador de wafer: A automação total requer compatibilidade com marcas populares de testadores e suporte para mapeamento de wafer, alinhamento e controle de temperatura do mandril.
- Ecossistema de software: procure soluções com scripts de teste intuitivos, visualização de dados em tempo real, relatórios de aprovação/reprovação e integração com SPC. A compatibilidade com ferramentas de análise externas (por exemplo, Python, JMP, MATLAB) aumenta a flexibilidade.
- Escalabilidade modular: garanta que o sistema possa ser expandido à medida que a complexidade do dispositivo aumenta — como suporte para mais locais, instrumentos adicionais ou novas rotinas de teste — sem grandes reconfigurações.