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Plataformas escalables para la validación de semiconductores a nivel de oblea y encapsulados.
Las soluciones de prueba paramétrica de Keysight combinan instrumentos de medición de alto rendimiento con automatización flexible para acelerar la evaluación de dispositivos semiconductores desde el desarrollo inicial hasta la producción de gran volumen. Al ofrecer pruebas precisas de corriente-voltaje (IV), capacitancia-voltaje (CV) y fiabilidad, estos sistemas escalables ayudan a optimizar el rendimiento de los dispositivos, supervisar la variabilidad del proceso y garantizar la fiabilidad a largo plazo. Diseñadas para una integración perfecta con los probadores de obleas y los entornos de producción, las soluciones paramétricas de Keysight ofrecen la precisión, velocidad y eficiencia necesarias para las tecnologías de semiconductores avanzadas actuales. Solicite hoy mismo un presupuesto para una de nuestras configuraciones populares. ¿Necesita ayuda para seleccionar? Consulte los recursos a continuación.
Automatización de alto rendimiento
Aumente la eficiencia de las pruebas con capacidades multisitio y conmutación rápida y programable, ideal para su uso en entornos de sondeo de obleas de gran volumen o dispositivos empaquetados de alta mezcla.
Integración flexible de pruebas
Combine a la perfección SMU de precisión, unidades de medición de capacitancia, módulos de impulsos y herramientas de fiabilidad en un único sistema escalable que se adapta a una amplia gama de escenarios de prueba.
Enfoque en los procesos y la fiabilidad
Realice mediciones paramétricas exhaustivas, IV pulsadas y de estrés de larga duración para respaldar la cualificación de los dispositivos y supervisar la fiabilidad en diferentes regímenes operativos.
Software personalizable
Aproveche las plataformas de software modulares para adaptar secuencias de pruebas y scripts de automatización para la producción, el modelado o la investigación exploratoria de dispositivos.
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Minimum current measurement resolution
0.1 fA to 1 pA
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Minimum voltage measurement resolution
2 µV
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Maximum number of measurement pins
2 to 100
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Additional features
CV measurement, SPGU output, One-pass optical & electrical test, High voltage CV measurement
Las configuraciones más populares
Sistema de pruebas paramétricas paralelas
Sistemas de pruebas paramétricas serie 4080
Sistema de pruebas paramétricas masivamente paralelo
Servicios y asistencia
Innovar rápidamente con planes de asistencia personalizados y tiempos de respuesta y resolución priorizados.
Obtenga suscripciones predecibles basadas en arrendamiento y soluciones completas de gestión del ciclo de vida, para que pueda alcanzar sus objetivos empresariales más rápidamente.
Disfrute de un servicio superior como suscriptor de KeysightCare y obtenga una respuesta técnica comprometida y mucho más.
Asegúrese de que su sistema de pruebas funcione según las especificaciones y cumpla con las normas locales y globales.
Realice mediciones rápidamente con formación interna impartida por instructores y aprendizaje electrónico.
Descargue el software de Keysight o actualice su software a la versión más reciente.
Preguntas más frecuentes
Las soluciones de pruebas paramétricas son sistemas integrales que se utilizan para caracterizar eléctricamente los dispositivos semiconductores y supervisar los parámetros de proceso en los flujos de trabajo de fabricación, modelado y fiabilidad. A diferencia de los comprobadores funcionales que verifican la lógica digital o el comportamiento analógico, los comprobadores paramétricos miden propiedades eléctricas fundamentales como la resistencia, la capacitancia, el voltaje umbral, la corriente de fuga y la rigidez dieléctrica. Estos sistemas integran instrumentos de alta precisión, como SMU, medidores CV y matrices de conmutación, con software de automatización e interfaces de sonda de oblea. Los probadores paramétricos están diseñados para ofrecer una alta precisión y repetibilidad, y a menudo admiten sitios de prueba paralelos y un control totalmente automatizado de la estación de sonda. Esto permite realizar pruebas rápidas y no destructivas de las características clave de los dispositivos durante el desarrollo del proceso, la calificación de lotes y la supervisión de la producción. Su escalabilidad y su capacidad de automatización los diferencian de los analizadores de banco o los instrumentos independientes.
En las fábricas de semiconductores, los sistemas de pruebas paramétricas se implementan en línea y al final de la línea para supervisar los parámetros críticos que afectan al rendimiento y la productividad de los dispositivos. Durante la fabricación de obleas, se colocan monitores de control de procesos (PCM) o estructuras de prueba junto a los dispositivos funcionales. Los probadores paramétricos examinan estas estructuras para evaluar la integridad del óxido de la puerta, la fuga de la unión, la resistencia de la línea, la fiabilidad de las vías y las características del transistor. Los datos recopilados ayudan a los ingenieros a detectar problemas de litografía, grabado, implantación o recocido antes de que afecten a las obleas de producción. Los resultados se introducen en sistemas de control estadístico de procesos (SPC) para realizar un seguimiento de las tendencias, identificar desviaciones e implementar medidas correctivas. En entornos de gran volumen, los probadores paramétricos deben proporcionar tiempos de estabilización rápidos, mediciones precisas de baja corriente y capacidad multisitio para garantizar un alto rendimiento de las pruebas sin comprometer la fidelidad de las mediciones.
Las soluciones de pruebas paramétricas admiten una amplia gama de tipos de pruebas, que abarcan tanto la evaluación a nivel de dispositivo como a nivel de proceso. Entre ellas se incluyen:
- Pruebas DC IV: Mediciones de corriente de puerta , drenaje y volumen; evaluaciones de voltaje umbral y fugas; relaciones de encendido/apagado y resistividad.
- Mediciones CV: Perfil de capacitancia-voltaje para extraer perfiles de dopaje, espesor de óxido y densidad de trampas de interfaz.
- Mediciones pulsadas: Se utilizan para evitar efectos térmicos en dispositivos de potencia o extraer parámetros dinámicos.
- Pruebas de estrés y caracterización de la fiabilidad: ruptura dieléctrica dependiente del tiempo (TDDB), inestabilidad de temperatura de polarización (BTI), inyección de portadores calientes (HCI) y pruebas de electromigración.
- Pruebas a nivel de oblea: los dispositivos sin encapsular se someten a pruebas a nivel de matriz en obleas de 6", 8" o 12" utilizando sondas automáticas.
Estas soluciones se utilizan habitualmente con CMOS, FinFET, dispositivos RF, semiconductores de potencia y dispositivos de nuevos materiales, como GaN, SiC o transistores 2D. Los ingenieros pueden configurar el plan de pruebas para que se adapte a la complejidad del dispositivo, el nodo tecnológico y los estándares de calificación de fiabilidad.
La automatización de pruebas es una piedra angular de los sistemas de pruebas paramétricas modernos, especialmente en entornos de producción y a nivel de oblea, donde el rendimiento y la consistencia son fundamentales. La automatización abarca el control a nivel de hardware (por ejemplo, cargador de obleas, probador, mandril térmico), la ejecución de pruebas (por ejemplo, secuenciación multisitio, conmutación rápida de relés) y el análisis y la generación de informes de datos. Las plataformas de software, como WaferPro Express de Keysight u otras suites de automatización personalizables, permiten la creación de planes de prueba con flujos de trabajo gráficos, ramificaciones condicionales y bucles. Las pruebas paralelas, en las que se prueban varios chips simultáneamente, reducen significativamente el tiempo de prueba por oblea. Además, la integración con sistemas de gestión del rendimiento y herramientas de bases de datos permite el registro de datos en tiempo real, el control estadístico de procesos y la correlación con datos de pruebas eléctricas o análisis de fallos posteriores. Todas estas capacidades reducen los errores humanos, aceleran el tiempo de rendimiento y permiten estrategias de prueba escalables y repetibles en fábricas o laboratorios de todo el mundo.
La elección de un sistema de pruebas paramétricas para tecnologías avanzadas implica un análisis minucioso del rendimiento, la escalabilidad y la integración. Entre los factores clave se incluyen:
- Capacidad de medición: Asegúrese de que el sistema admita una sensibilidad de corriente a nivel de femtoamperios, barridos de voltaje de alta velocidad y mediciones precisas de capacitancia adecuadas para geometrías escaladas y materiales avanzados.
- Densidad y flexibilidad de canales: los dispositivos con un elevado número de pines y las estructuras de prueba requieren sistemas con un gran número de canales y configuraciones de conmutación flexibles.
- Capacidad de estrés de fiabilidad: evalúe si el sistema admite sesgos de larga duración, control de temperatura y registro automatizado para estudios TDDB, BTI o NBTI.
- Integración con probadores de obleas: la automatización completa requiere compatibilidad con las marcas de probadores más populares y compatibilidad con el mapeo de obleas, la alineación y el control de la temperatura del mandril.
- Ecosistema de software: Busque soluciones con scripts de prueba intuitivos, visualización de datos en tiempo real, informes de aprobados/suspendidos e integración SPC. La compatibilidad con herramientas de análisis externas (por ejemplo, Python, JMP, MATLAB) mejora la flexibilidad.
- Escalabilidad modular: garantiza que el sistema se pueda ampliar a medida que aumenta la complejidad de los dispositivos, como la compatibilidad con más sitios, instrumentos adicionales o nuevas rutinas de prueba, sin necesidad de realizar grandes reconfiguraciones.