- 개요
- 모든 모델
- 지원
웨이퍼 레벨 및 패키징된 반도체 검증을 위한 확장 가능한 플랫폼
키사이트 파라메트릭 테스트 솔루션은 고성능 측정 장비와 유연한 자동화를 결합하여 초기 개발부터 대량 생산에 이르는 반도체 디바이스 평가를 가속화합니다. 정밀한 전류-전압(IV), 커패시턴스-전압(CV) 및 신뢰성 테스트를 제공하는 이 확장 가능한 시스템은 디바이스 성능을 최적화하고 공정 가변성을 모니터링하며 장기적인 신뢰성을 보장하는 데 도움이 됩니다. 웨이퍼 프로버 및 생산 환경과의 원활한 통합을 위해 설계된 키사이트 파라메트릭 솔루션은 오늘날의 첨단 반도체 기술에 필요한 정확성, 속도 및 효율성을 제공합니다. 오늘 인기 있는 구성 중 하나에 대한 견적을 요청하십시오. 선택에 도움이 필요하십니까? 아래 리소스를 확인하십시오.
고처리량 자동화
멀티 사이트 기능과 빠르고 프로그래밍 가능한 스위칭을 통해 테스트 효율성을 높여 대량 웨이퍼 프로빙 또는 고혼합 패키지 디바이스 환경에 이상적입니다.
유연한 테스트 통합
정밀 SMU, 정전 용량 측정 장치, 펄스 모듈 및 신뢰성 도구를 하나의 확장 가능한 시스템 내에서 원활하게 결합하여 광범위한 테스트 시나리오에 적합하게 사용할 수 있습니다.
공정 및 신뢰성 중점
디바이스 검증을 지원하고 다양한 작동 조건에서 신뢰성을 모니터링하기 위해 포괄적인 파라메트릭, 펄스 IV 및 장시간 스트레스 측정을 수행합니다.
맞춤형 소프트웨어
모듈형 소프트웨어 플랫폼을 활용하여 생산, 모델링 또는 탐색적 디바이스 연구를 위한 테스트 시퀀스 및 자동화 스크립트를 맞춤화하십시오.
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최소 전류 측정 분해능
0.1 fA ~ 1 pA
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Minimum voltage measurement resolution
2 µV
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Maximum number of measurement pins
2 ~ 100
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Additional features
CV measurement, SPGU output, One-pass optical & electrical test, High voltage CV measurement
가장 인기 있는 구성
병렬 파라메트릭 테스트 시스템
4080 시리즈 파라메트릭 테스트 시스템
대규모 병렬 파라메트릭 테스트 시스템
서비스 및 지원
엄선된 지원 플랜과 우선적인 응답 및 처리 시간을 통해 빠르게 혁신하십시오.
예측 가능한 리스 기반 구독 및 전체 수명 주기 관리 솔루션을 통해 비즈니스 목표를 더 빠르게 달성하십시오.
KeysightCare 구독자로서 향상된 서비스를 경험하고 전담 기술 지원 및 더 많은 혜택을 받으세요.
테스트 시스템이 사양에 따라 작동하고 현지 및 글로벌 표준을 충족하는지 확인하십시오.
사내 강사 주도 교육 및 이러닝을 통해 신속하게 측정하십시오.
키사이트 소프트웨어를 다운로드하거나 최신 버전으로 업데이트하십시오.
자주 묻는 질문
파라메트릭 테스트 솔루션은 반도체 디바이스를 전기적으로 특성화하고 제작, 모델링 및 신뢰성 워크플로우 전반에 걸쳐 공정 파라미터를 모니터링하는 데 사용되는 포괄적인 시스템입니다. 디지털 로직 또는 아날로그 동작을 검증하는 기능 테스터와 달리 파라메트릭 테스터는 저항, 커패시턴스, 임계 전압, 누설 전류 및 유전 강도와 같은 기본적인 전기적 특성을 측정합니다. 이러한 시스템은 SMU, CV 미터 및 스위칭 매트릭스를 포함한 고정밀 계측기와 자동화 소프트웨어 및 웨이퍼 프로브 인터페이스를 통합합니다. 파라메트릭 테스터는 높은 정확도와 반복성을 위해 설계되었으며, 종종 병렬 테스트 사이트와 완전 자동화된 프로브 스테이션 제어를 지원합니다. 이를 통해 공정 개발, 로트 인증 및 생산 모니터링 중에 주요 디바이스 특성에 대한 신속하고 비파괴적인 테스트가 가능합니다. 확장성과 자동화 준비성은 벤치탑 분석기 또는 독립형 계측기와 차별화됩니다.
반도체 팹에서는 디바이스 성능 및 수율에 영향을 미치는 핵심 파라미터를 모니터링하기 위해 인라인 및 최종 라인에 파라메트릭 테스트 시스템이 배포됩니다. 웨이퍼 제조 중에는 공정 제어 모니터(PCM) 또는 테스트 구조가 기능성 디바이스와 함께 배치됩니다. 파라메트릭 테스터는 이러한 구조를 프로브하여 게이트 산화막 무결성, 접합 누설, 라인 저항, 비아 신뢰성 및 트랜지스터 특성을 평가합니다. 수집된 데이터는 엔지니어가 생산 웨이퍼에 영향을 미치기 전에 리소그래피, 에칭, 이온 주입 또는 어닐링 문제를 감지하는 데 도움이 됩니다. 결과는 통계적 공정 제어(SPC) 시스템에 입력되어 추세를 추적하고, 이탈을 식별하며, 시정 조치를 구현합니다. 대량 생산 환경에서 파라메트릭 테스터는 측정 충실도를 저해하지 않으면서 높은 테스트 처리량을 보장하기 위해 빠른 안정화 시간, 정확한 저전류 측정 및 멀티 사이트 기능을 제공해야 합니다.
파라메트릭 테스트 솔루션은 디바이스 레벨 및 공정 레벨 평가를 모두 포괄하는 광범위한 테스트 유형을 지원합니다. 여기에는 다음이 포함됩니다.
- DC IV 테스트: 게이트, 드레인 및 벌크 전류 측정; 임계 전압 및 누설 평가; 온/오프 비율 및 저항률.
- CV 측정: 도핑 프로파일, 산화막 두께 및 계면 트랩 밀도 추출을 위한 정전 용량-전압 프로파일링.
- 펄스 측정: 전력 디바이스의 열 효과를 방지하거나 동적 파라미터를 추출하는 데 사용됩니다.
- 스트레스 테스트 및 신뢰성 특성화: 시간 의존적 유전체 항복(TDDB), 바이어스 온도 불안정성(BTI), 핫 캐리어 주입(HCI) 및 일렉트로마이그레이션 테스트.
- 웨이퍼 레벨 테스트: 비패키징 디바이스는 자동 프로버를 사용하여 6인치, 8인치 또는 12인치 웨이퍼의 다이 레벨에서 프로빙됩니다.
이러한 솔루션은 일반적으로 CMOS, FinFET, RF 디바이스, 전력 반도체 및 GaN, SiC 또는 2D 트랜지스터와 같은 신소재 디바이스에 사용됩니다. 엔지니어는 디바이스 복잡성, 기술 노드 및 신뢰성 인증 표준에 맞게 테스트 계획을 구성할 수 있습니다.
테스트 자동화는 최신 파라메트릭 테스트 시스템의 핵심이며, 특히 처리량과 일관성이 중요한 웨이퍼 레벨 및 생산 환경에서 더욱 그렇습니다. 자동화는 하드웨어 레벨 제어(예: 웨이퍼 로더, 프로버, 서멀 척), 테스트 실행(예: 다중 사이트 시퀀싱, 고속 릴레이 스위칭) 및 데이터 분석/보고를 포함합니다. 키사이트의 WaferPro Express 또는 기타 맞춤형 자동화 스위트와 같은 소프트웨어 플랫폼은 그래픽 워크플로우, 조건부 분기 및 루핑을 통해 테스트 계획을 생성할 수 있도록 합니다. 여러 다이를 동시에 테스트하는 병렬 테스트는 웨이퍼당 테스트 시간을 크게 단축합니다. 또한 수율 관리 시스템 및 데이터베이스 도구와의 통합을 통해 실시간 데이터 로깅, 통계적 공정 제어, 그리고 다운스트림 전기 테스트 또는 불량 분석 데이터와의 상관 관계 분석이 가능합니다. 이러한 모든 기능은 인적 오류를 줄이고, 수율 달성 시간을 단축하며, 전 세계 팹 또는 연구소에서 확장 가능하고 반복 가능한 테스트 전략을 구현할 수 있도록 합니다.
고급 기술을 위한 파라메트릭 테스트 시스템을 선택할 때는 성능, 확장성 및 통합을 신중하게 고려해야 합니다. 주요 요소는 다음과 같습니다.
- 측정 기능: 시스템이 스케일링된 형상 및 첨단 재료에 적합한 펨토암페어 수준의 전류 감도, 고속 전압 스윕 및 정확한 정전용량 측정을 지원하는지 확인하십시오.
- 채널 밀도 및 유연성: 고핀 수 디바이스 및 테스트 구조에는 많은 수의 채널과 유연한 스위칭 구성을 갖춘 시스템이 필요합니다.
- 신뢰성 스트레스 기능: 시스템이 TDDB, BTI 또는 NBTI 연구를 위해 장시간 바이어싱, 온도 제어 및 자동 로깅을 지원하는지 평가합니다.
- 웨이퍼 프로버 통합: 완전 자동화를 위해서는 인기 있는 프로버 브랜드와의 호환성 및 웨이퍼 매핑, 정렬, 온도 척 제어 지원이 필요합니다.
- 소프트웨어 에코시스템: 직관적인 테스트 스크립팅, 실시간 데이터 시각화, 합격/불합격 보고 및 SPC 통합 기능을 갖춘 솔루션을 찾으십시오. 외부 분석 도구(예: Python, JMP, MATLAB)와의 호환성은 유연성을 향상시킵니다.
- 모듈형 확장성: 더 많은 사이트, 추가 장비 또는 새로운 테스트 루틴 지원과 같이 장치 복잡성이 증가함에 따라 시스템을 주요 재구성 없이 확장할 수 있도록 보장합니다.