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MEMS/NEMS 裝置量測解決方案
加速您的研究、開發及製造效率
MEMS (微機電系統) 是用來建置超小型裝置的技術，裝置範圍通常從毫米到微米。NEMS (奈米機電系統) 與 MEMS 類似，但其範圍為奈米。MEMS/NEMS 為整合式裝置，其上的可卸除式零件、感測器、致動器及電子電路，是以 MEMS/NEMS 技術製造。
是德科技提供了數種儀器，以協助 MEMS/NEMS 裝置的研發工作。
是德可透過下列的解決方案，協助您建構更準確的裝置模型、進行更有效率的故障分析，以及建立更佳的流程。
量測、範例裝置與解決方案
| 位移→電氣信號轉換器技術 (感測器) | |||
|---|---|---|---|
| 靜電 | 壓電 | 磁電機-阻抗 | |
| 壓力感測器 | X | X | - |
| 加速計 | X | X | X |
| 陀螺儀 | X | X | - |
| 流量感測器 | - | X | - |
| 磁量儀 | - | - | X |
| 電氣信號→位移轉換器技術 (致動器) | ||||
|---|---|---|---|---|
| 靜電 | 電磁 | 壓電 | 其他資訊 | |
| 光學開關 | X | X | - | 光學評估 |
| 光學掃描器 | X | X | X | 光學評估 |