MEMS device sm

研究／開発／製造の効率向上

MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）とは、きわめて小さなデバイスを作成する技術であり、その大きさは通常mmからμmの範囲です。NEMS（Nano Electro Mechanical Systems）も同様ですが、大きさがnmの範囲になります。MEMS/NEMSデバイスは集積デバイスであり、可動部品、センサ、アクチュエータ、電子回路などがMEMS/NEMSテクノロジーによって構築されます。

Keysightでは、MEMS/NEMSデバイスの研究開発に使用できるいくつかの測定器を提供しています。

Keysightの以下のソリューションを使えば、より正確なデバイス・モデリング、より効率的な不良解析、より優れたプロセスを実現できます。

測定、サンプル・デバイス、ソリューション

変位⇒電気信号トランスデューサ・テクノロジー（センサ）
  静電  圧電  磁気インピーダンス
圧力センサ   ○   ○  - 
加速度計   ○   ○   ○
ジャイロスコープ   ○   ○  -
流量センサ  -   ○  -
磁力計  -  -   ○
電気信号⇒変位トランスデューサ・テクノロジー（アクチュエータ）
  静電  電磁気  圧電  その他の情報
光スイッチ   ○   ○  -   光評価
光スキャナ   ○   ○   ○   光評価

Related Links

ドキュメントおよびダウンロード

関連リンク