フォトニクスICの機能試験の実施方法

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PICの光・電気的性能試験

フォトニック集積回路の機能試験には、光刺激、偏光制御、光パワー測定、および電気的特性評価を組み合わせた、同期化された測定ワークフローが必要です。 一般的な試験構成では、可変波長レーザー光源を用いて被試験デバイス全体で波長を走査し、自動偏光コントローラで所定の偏光状態を印加し、光パワーメータで透過または結合された光パワーを測定し、ソース測定ユニットで能動素子にバイアスを印加して生成電流を測定します。これにより、導波路、グレーティングカプラー、フィルタ、共振器などの受動構造を、PINフォトダイオードなどの能動素子と同じワークフローで評価することが可能になります。

試験中、波長掃引により、対象となる光波長範囲全体にわたる挿入損失、スペクトル特性、帯域幅特性、および共振応答が測定されます。偏光分解測定により、偏光依存損失やアライメント感度を含む、横電界モードおよび横磁界モードの挙動を詳細に把握できます。アクティブデバイスの検証においては、オンチップフォトダイオードに光入力を印加し、同時に光源測定ユニットが動作条件またはバイアス条件下での電流を記録することで、感度および暗電流の解析が可能になります。 これらの測定を単一のシーケンスで自動化することで、手動による設定変更が削減され、フォトニック集積回路のテストフロー全体を通じて、光学的結果と電気的結果の相関性を維持するのに役立ちます。

フォトニクスICテストソリューション

フォトニクス集積回路の機能試験を行うには、掃引光刺激、偏光制御、光パワー測定、および電気的特性評価を組み合わせた、同期化されたワークフローが必要となります。 このソリューションでは、波長を掃引するための波長可変レーザー、定義された偏光状態を切り替えるための偏光制御・測定装置、光応答を測定するための光パワーメーター、およびPINフォトダイオードなどの能動素子からの電流を記録するためのソース測定ユニットを使用します。この構成により、単一の自動テスト環境内で、挿入損失、偏光依存損失、応答度、および暗電流の測定が可能になります。
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