フォトニクスICの機能試験の実施方法

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PICの光電性能をテストする

フォトニック集積回路の機能テストには、光刺激、偏波制御、光パワー測定、電気特性評価を組み合わせた同期測定ワークフローが必要です。一般的なテストセットアップでは、波長可変レーザー光源を使用して被試験デバイスの波長を掃引し、自動偏波コントローラで定義された偏波状態を印加し、光パワーメータで透過または結合された光パワーを測定し、ソース測定ユニットでアクティブデバイスにバイアスをかけ、生成された電流を測定します。これにより、導波路、グレーティングカプラ、フィルタ、共振器などの受動構造を、PINフォトダイオードなどの能動部品と同じワークフローで評価できます。

テスト中、波長掃引により、ターゲット光範囲全体にわたる挿入損失、スペクトル特性、帯域幅特性、共振応答が捕捉されます。偏波分解測定により、偏波依存損失やアライメント感度を含む、横電界および横磁界の特性が可視化されます。アクティブデバイスの検証では、オンチップフォトダイオードに光入力が印加され、ソース測定ユニットが動作条件またはバイアス条件下での電流を記録し、応答度と暗電流の解析を可能にします。これらの測定を単一のシーケンスで自動化することで、手動でのセットアップ変更が減り、フォトニック集積回路のテストフロー全体で光学的および電気的結果の相関を維持するのに役立ちます。

フォトニクスICテストソリューション

フォトニック集積回路の機能テストの実行には、掃引光刺激、偏波制御、光パワー測定、電気特性評価を組み合わせた同期ワークフローが必要です。このソリューションは、波長掃引に波長可変レーザーを使用し、定義された偏波状態を循環させるために偏波制御・測定器を使用し、光応答を測定するために光パワーメータを使用し、PINフォトダイオードなどのアクティブデバイスからの電流を記録するためにソース測定ユニットを使用します。この構成により、単一の自動テスト環境で挿入損失、偏波依存損失、応答度、暗電流測定がサポートされます。
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