B2200A fA リーケージ・スイッチ・メインフレーム

特長

• リレー・ステータスの点灯表示により、測定セットアップのすばやい検証とデバッグが可能
• キーパッドまたはライトペン（オプション）によるフロント・パネル制御のサポート
• Keysight EasyEXPERTソフトウェアのGUIを使ってスイッチ設定制御および自動化
• EasyEXPERTソフトウェアによるキャパシタンス補正で最適化したCV入力

測定能力

• 4156C、B1500A、またはE5270B HRSMUを使用したスイッチによる1 fAの測定分解能
• 過渡電流セトリング時間（< 50 fA）: <2 s（10 V入力ステップ） (補足情報)
• 30 MHz帯域幅 (- 3dB) (補足情報)
• 低電流（triaxial）経路で100 TΩのチャネル・アイソレーション

アーキテクチャ

• 低電流（triaxial）入力8ヶおよび汎用（同軸）入力6ヶ
• x12、x24、x36、x48の三重同軸（triaxial）出力構成をサポートするモジュラ・デザイン
• 14の内部経路（多重化入力なし）
• B2220A低リーケージ・プローブ・カード・インタフェースとコンパティブル

B2200A は、評価テストの自動化によりテスト・コストを削減しますが、その際、半導体パラメータ・アナライザの測定性能が低下することはありません。B2200A は、4-SMU のフルケルビン構成とキャパシタンス・メータをサポートし、将来の拡張にも対応します。それぞれ固有の内部測定経路を持つ 14 個の入力と、入力のうちの 2 個に対する独自のキャパシタンス測定補正機能があります。テンキーまたはオプションのライト・ペンによるフロント・パネル制御を提供し、パルス・ジェネレータなどの測定器をサポートします.

業界の課題

半導体ウェーハ上で多くのテスト・ストラクチャに対して必要なパラメトリック測定を実行しようとすると、時間がかかり高価なプロセスとなります。エンド・ユーザ・デバイスの価格が低下し続ける中、ラボの評価環境でのテスト・コストの削減も必要となります。半自動または全自動ウェーハ・プロバとスイッチング・マトリックスの併用で、評価テストの自動化が可能になり、新しいモジュールのテストが必要になるたびに手動でプローブの位置を変える必要がなくなりました。これにより、テスト時間とコストを削減できます。

使用可能なスイッチング・マトリックスの多くには固有の適用限界があります。例えば、多くのスイッチング・マトリックスは、半導体パラメータ・アナライザの低電流測定性能を低下させ、測定チェーン内の一番弱いリンクとなります。内部経路の数が足りないスイッチング・マトリックスは 4 端子フルケルビン測定とキャパシタンス・メータの両方をサポートできないので、測定がIVからCV に変わるたびに手動で配線を変更する必要があります。さらに、スイッチング・マトリックスがキャパシ タンス測定で経路長に起因する測定の歪みを補正できない場合は、結果が不正確になります.

優れたスイッチング・マトリックス性能

B2200A fA リーケージ・スイッチ・メインフレームは、優れた低電流リーケージとキャパシタンス測定性能を備え、他のソリューションのような適用限界がありません。1 fA 測定をサポートし、半導体パラメータ・アナライザの高い性能を損なうことはありません。入力は、4-SMU のフルケルビン構成をサポートするのに十分です。14 個の入力すべてが固有の内部経路に対応するので、全部の入力を同時に使用できます。他の競合ソリューションとは異なり、各チャネルの異なる経路長に起因する固有の誤差によってキャパシタンス測定の結果に歪みが生じることはありません。さらに、システムが、こうした変動の補正に必要なパラメータとアルゴリズムを提供します。モジュラ構造により 12、24、36、または 48 出力構成を使用できるので、柔軟な使い方が可能です。30 MHz の帯域幅は、パルス・ジェネレータなどの測定器の使用をサポートします。補助 LED ディスプレイとテンキーまたはオプションのライト・ペンによるフロント・パネル制御により、柔軟なオペレータ制御が得られます。

• 半導体パラメータ・アナライザの性能に対応
  最新の半導体パラメータ・アナライザは、新たな性能レベルに到達しています。1 fA の測定分解能に対応可能な B2200A スイッチング・マトリックスを使用すると、測定性能に影響を及ぼすことなく、半導体パラメータ・アナライザの機能に対応できます。
• 多重化による測定制限を回避
  B2200A の 14 個の内部測定経路により、遅延や時間のかかる手動切り替えを回避できます。すべての入力には独自の内部経路があるので、全部の入力を同時に使用できます。
• 正確なキャパシタンス測定
  キャパシタンスの測定時には、マトリックス内のパスを含むケーブル長が測定結果に大きな影響を及ぼします。キャパシタンス測定用に最適化された 2 個の BNC 入力を使用すると、B2200A スイッチング・マトリックス・メインフレームが（他の競合ソリューションとは異なり）、マトリックスの内部経路長に起因する誤差を補正し、歪みのない測定結果を得るための補正パラメータを提供します。