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低リーク・スイッチ・メインフレーム・ファミリ（B2200A/B2201A/E5250A）
パラメータ・アナライザやデバイス・アナライザとウエハ・プローバの間に配置される低リークのスイッチ・マトリクスです。自動評価・テストによりテスト・コストを削減します。
半導体パラメータ・アナライザとウェハー間の低リーク・スイッチ・メインフレーム・ソリューションを使用し、自動評価・テストによりテスト・コストを削減
このページのトピックス：業界の課題・まとめ・製品比較・製品&サービス
業界の課題
半導体ウェハー上で多数のテスト・ストラクチャに対して必要なパラメトリック測定を実行しようとすると、時間がかかり高価なプロセスとなります。エンド・ユーザ・デバイスの価格が低下し続ける中、ラボの評価環境でのテスト・コストの削減も必要となります。これまでも現在および将来の半導体プロセス・テクノロジーに携わるエンジニアや技術者は、困難な選択に直面してきました。自動テストの可能性を制限する、ウェハー・プローバ上での半導体パラメータ・アナライザとポジショナの併用、またはアナライザの測定分解能を低下させるスイッチング・マトリックスとプローブ・カードの使用のいずれかを選択しなければなりませんでした。しかし、半自動または全自動ウェハー・プローバとスイッチング・マトリックスを併用することにより、評価テストの自動化を実現し新しいモジュールのテストが必要になるたびに手動でプローブの位置を変える必要がなくなりました。これにより、テスト時間とコストの削減が可能となります。Keysightのスイッチング・マトリックス・ソリューションは、様々な価格／性能の組み合わせが可能でテスト・ニーズに応じた最適な価格のソリューションを選択することができます。
まとめ
柔軟なスイッチング・マトリックス・オプション、歪みに対する妥協なし
Keysightの低リーク・スイッチ・メインフレームは、パラメータ・アナライザ（4155C、4156C）の測定機能を拡張して、自動測定ソリューションを作成できます。スイッチング・マトリックスおよびプローブ・カード・ベースのソリューションに固有の測定の柔軟性と自動化機能を、測定性能に対して妥協をせずに提供します。この製品ファミリは、テスト・ニーズに必要な機能のみを選択できる柔軟性を持っています。電流測定分解能および入力／出力構成に関する複数のオプションも提供しています。さらに、すべてのソリューションに、マトリックスの内部パス長に起因するキャパシタンス測定の歪みを補正する強力な機能が備わっています。
- ニーズに適合する測定分解能の選択
テスト・ニーズに合わせて1 fA～10 fAの電流測定分解能から選択でき、必要以上に分解能の高いものを購入せずに済みます。スイッチング・マトリックスは半導体パラメータ・アナライザの機能と同期し、信号リーケージにより測定性能が低下することもありません。 - 柔軟な入出力構成
コストパフォーマンスの高い非ケルビン測定から最大4個のSMUによるフルケルビン測定の構成まで、様々な価格／性能のオプションが揃っています。さらに製品ファミリでは、測定ニーズに合わせて様々な出力構成やカード・タイプからの選択が可能です。B2200A、B2201A、E5250A（E5252Aカードをインストール済み）は、x12、x24、x36、x48出力構成をサポートしています。E5250A（E5255Aカードをインストール済み）は、x24、x48、x72、x96構成をサポートし、最大4台のメインフレームを組み合わせると、384チャネルのソリューションを作成することができます。 - 歪みのない正確なキャパシタンス測定
キャパシタンスの測定時には、マトリックス内のパスを含むケーブル長が測定結果に大きな影響を及ぼします。Keysightのスイッチング・マトリックスはキャパシタンス測定の補正機能を備え、マトリックスの内部パスの長さに起因する誤差を補正します。これにより、スイッチング・マトリックスを通して正確にキャパシタンス測定が行えます。他の競合するソリューションとは異なり、補正パラメータを供給して歪みのない測定結果が得られます。
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