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10716A 高分解能干渉計
キーサイト10716A高分解能干渉計は、単軸および精密X-Yステージなどの多軸アプリケーションに使用されます。
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キーサイト10716A高分解能干渉計は、単軸および精密X-Yステージなどの多軸アプリケーションに使用されます。 10716Aは、従来のプレーンミラー干渉計の2倍の分解能を持ち、10706B高安定プレーンミラー干渉計と同じ優れた熱安定性を持っています。 測定ドリフトは、従来のプレーンミラー干渉計の半分程度です。 これらの特徴により、精度、再現性、熱安定性が向上しています。 しかし、スルーレートは半分になります。
10716Aには、リファレンス用の10723A高安定アダプター（高反射鏡と1/4波長板で構成）1つ、ビーム経路の操作のための反射鏡2つ、ビームベンダー1つ、1/4波長プレート1つが含まれています。 10724A平面ミラー反射鏡など測定用ミラーは、ユーザーにご用意いただく必要があります。
10716Aオプション001は、ビームを回転する干渉計が必要な光学レイアウトに利用可能です。
- アプリケーション：プレーンミラー、高分解能
- 特徴的な機能：高分解能
- 軸数：1
- 最大ビームサイズ：6 mm
- ビーム分離：12.7 mm
- 質量：502 g
- 基本光学分解能：λ/4 (79.1 nm、 3.1 µin)
- システム分解能：λ/256 (2.5 、0.1µin)、32x電子分解能エクステンションの使用に基づく
- システム分解能：λ/2048 (0.31 nm、0.012 µin)、256x電子分解能エクステンションの使用に基づく
- 反射鏡：10724Aまたはユーザー指定
- 使用するマウント：10711A
- 参照：なし
- 構成の変更：あり。 オプション001が必要
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