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10719A 1軸ディファレンシャル・干渉計
キーサイト10719A 1軸ディファレンシャル干渉計は、1軸および多軸アプリケーションで使用するために、ディファレンシャルリニアまたは角度測定のいずれかを行います。
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HIGHLIGHTS
YHP、HP、アジレントから引き継がれるレーザ干渉計ソリューションのラインナップをご覧ください。
Keysight 10719Aは、1軸および多軸アプリケーション用の製品で、差測定または角度測定を行います。リニア測定では、ステージと光学カラムまたは検査ツールなど2物体間の変位を測定できます。また、ピッチまたはロールの測定も可能です。角度は、基準ビームと測定ビームが同じミラーに対するときに測定できます。
- 熱膨張などの干渉計自身の変位に影響されない高確度
- 半導体検査に最適なカラム基準測定
- カラム基準測定はX線システムにも最適
- モジュール式のコンパクトな筐体
- Abeeオフセット誤差を低減するピッチ測定
- 3mmビーム用のモノリシック光学系
- ダイナミック・インストール
- 高確度 本製品は、干渉計と物体間ではなく、2物体間の直線距離を測定します。基準経路と測定経路に共通した誤差は、経路への影響が等しいために除去されます。この手法により、リソグラフィ・システムなどのオーバレイ確度が向上します。 カラム基準測定 マスクおよびIC検査では、検査装置(顕微鏡など)に対してステージを微小距離移動させる必要があります。本製品の基準測定により、新規作成イメージと目的のイメージとを容易に比較できます。 X線システム X線システム(波長が光の波長よりも短い)では、微細な線幅のリソグラフィを使用するため、ヨーのわずかなミスアラインメントがシステム性能に大きく影響することがあります。本製品では、マスク・ホルダに対するマルチアクシス・ステージの移動を基準とすることにより、要求確度を実現します。 モジュール式のコンパクトなデザイン 本製品は、1-6軸のカスタム測定システムに容易に統合できるコンパクトな設計です。
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1軸ディファレンシャル干渉計の機能を拡張
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