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Comutação de alto isolamento para testes de corrente ultrabaixa e alta impedância
As matrizes de chaveamento de baixa fuga da Keysight são projetadas para testes automatizados de semicondutores que exigem medição de corrente ultrabaixa e alto desempenho de isolamento. Projetadas para manter a integridade do sinal em níveis de femtoampere, essas matrizes de chaveamento permitem uma comutação contínua entre múltiplos dispositivos ou nós de teste sem comprometer a precisão da medição. Com configurações flexíveis, formatos compactos e fácil integração com os analisadores Keysight, elas são ideais para testes paramétricos, estudos de confiabilidade e caracterização em nível de wafer. Solicite um orçamento para uma de nossas configurações populares hoje. Precisa de ajuda para selecionar? Consulte os recursos abaixo.
Isolamento ao nível de femtoamp
Mantenha a integridade das medições de corrente ultrabaixa com caminhos de comutação projetados para minimizar o vazamento, ideais para medições de precisão em materiais semicondutores avançados.
Expansão flexível de canais
Acomoda configurações de teste complexas com contagem de canais escalável de até 48 saídas, suportando dispositivos multipinos e matrizes de teste automatizadas em configurações em nível de wafer.
Projeto de correção de capacitância
Garanta a precisão em testes CV de alta impedância com caminhos de compensação de capacitância dedicados que reduzem a distorção em medições de dispositivos sensíveis.
Integração perfeita
Combine facilmente com analisadores de parâmetros e sistemas de teste de dispositivos semicondutores, controlados por meio de interfaces de software intuitivas para rotinas de comutação automatizadas.
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Resolução Mínima de Medição de Corrente
1 fA até 20 fA
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Maximum output ports
48 até 96
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Isolation
10 TΩ até 100 TΩ
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Type
Matrix, Matrix or Multiplexer
Configurações mais populares
Chave de baixo vazamento Mainframe
Interruptor de fuga fA Mainframe
Chave de baixo vazamento Mainframe
- Manual de Medição Paramétrica
- Manual de medição de impedância
Serviços e suporte
Inove rapidamente com planos de suporte personalizados e tempos de resposta e resolução priorizados.
Obtenha assinaturas previsíveis baseadas em locação e soluções completas de gerenciamento do ciclo de vida para atingir suas metas de negócios mais rapidamente.
Experimente um serviço diferenciado como assinante do KeysightCare para obter respostas técnicas comprometidas e muito mais.
Garanta que seu sistema de teste funcione de acordo com as especificações e atenda às normas locais e globais.
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Perguntas frequentes
Uma matriz de comutação de baixo vazamento é um sistema especializado de roteamento de sinal projetado para conectar instrumentos de precisão, como unidades de medição de fonte (SMUs), medidores LCR ou unidades de medição de capacitância a vários terminais de dispositivos de maneira altamente controlada e eletricamente isolada. Esses sistemas são otimizados para medições de alta impedância e comutação de corrente ultrabaixa, normalmente na faixa de femtoamp (fA). A matriz permite a automação perfeita de testes de dispositivos multipinos, sondagem de wafer e análise de confiabilidade sem comprometer a integridade do sinal necessária para medições IV ou CV sensíveis. Ao permitir a comutação autônoma entre os pinos do dispositivo, uma matriz de comutação de baixo vazamento minimiza a necessidade de reconexões manuais, reduzindo assim os erros de medição, o risco de contaminação e o tempo de teste.
A corrente de fuga pode introduzir erros significativos ao medir sinais ultrapequenos, particularmente em dispositivos semicondutores avançados ou dimensionados, como óxidos de porta, camadas de passivação, dielétricos finos e materiais novos, como semicondutores orgânicos ou materiais 2D. Nesses contextos, as correntes alvo podem ser da ordem de femtoampères ou picoampères, e mesmo uma fuga minúscula através de relés de comutação, cabos ou conectores pode distorcer os resultados. Alta resistência de isolamento (normalmente >100 TΩ), baixa absorção dielétrica e proteção otimizada são essenciais para manter a pureza do sinal. Matrizes de comutação de baixo vazamento são construídas com substratos de Teflon ou cerâmica, caminhos triaxiais protegidos e designs de relés especializados para suprimir caminhos de corrente parasitas e manter a integridade dessas medições delicadas.
As matrizes de comutação de baixo vazamento são normalmente integradas a sistemas de teste paramétrico, analisadores de dispositivos semicondutores e testadores de wafer para caracterização elétrica automatizada. Cada canal da matriz conecta os terminais do dispositivo aos instrumentos de forma programável por meio de software, permitindo uma rápida reconfiguração durante as sequências de teste. Essa integração suporta rotinas de teste avançadas, como sensoriamento Kelvin, medições diferenciais e varreduras IV/CV multiterminais. A matriz é frequentemente controlada por meio de comandos SCPI, software baseado em GUI (como EasyEXPERT) ou estruturas de automação em ambientes de alto rendimento. Recursos como comutação de ponto cruzado, mapeamento de matriz de relé e atuação de alta velocidade permitem uma coordenação perfeita entre os instrumentos de comutação e medição, minimizando o tempo ocioso e maximizando o rendimento durante os testes em nível de wafer ou a análise de confiabilidade.
Vários parâmetros críticos influenciam a seleção de uma matriz de comutação adequada para aplicações em semicondutores:
- Contagem e configuração de canais: determine o número de entradas (portas de instrumentos) e saídas (conexões de dispositivos) necessárias para sua aplicação. Alguns modelos suportam até 48 saídas com roteamento configurável (por exemplo, 4x12, 8x6).
- Corrente de fuga e resistência de isolamento: Para testes de corrente ultrabaixa, selecione uma matriz com fuga inferior a femtoampères e resistência de isolamento superior a 100 TΩ para evitar distorção na medição.
- Largura de banda e capacitância: Medições CV de alta velocidade ou sondagem RF requerem largura de banda de sinal adequada e baixa capacitância parasítica. Algumas matrizes suportam larguras de banda de até 30 MHz.
- Resistência de contato e vida útil do relé: Escolha sistemas com resistência de contato baixa e estável e relés reed ou de estado sólido de longa duração, especialmente para ambientes de produção ou testes de estresse.
- Compensação e proteção de capacitância: procure recursos dedicados, como caminhos de proteção ativos ou linhas de correção de capacitância, para preservar a fidelidade do sinal em configurações de alta impedância.
O design do relé e da blindagem é fundamental para a capacidade de uma matriz de comutação manter caminhos de sinal de alta fidelidade. Os relés eletromecânicos em matrizes de baixo vazamento são selecionados por sua alta resistência de isolamento, baixa capacitância parasita e baixa absorção dielétrica. Muitos sistemas usam relés reed envoltos em vidro hermeticamente selado para minimizar a contaminação e melhorar a estabilidade a longo prazo. Além disso, técnicas de blindagem, como proteções acionadas, cabos triaxiais e caminhos de sinal isolados, protegem medições sensíveis contra interferências externas e loops de terra. Os layouts internos de PCB geralmente incluem planos de terra e traços de proteção para controlar caminhos de vazamento e acoplamento de sinal. A blindagem adequada garante que a própria matriz não se torne uma fonte de erro, especialmente ao medir nós de alta impedância ou realizar caracterização CV em baixas frequências.