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Commutazione ad alto isolamento per test a corrente ultra bassa e alta impedenza
Le matrici di commutazione a bassa dispersione Keysight sono progettate per i test automatizzati dei semiconduttori che richiedono misurazioni di corrente ultra-basse e prestazioni di isolamento elevate. Progettate per mantenere l'integrità del segnale a livelli di femtoampere, queste matrici di commutazione consentono una commutazione senza interruzioni tra più dispositivi o nodi di test senza compromettere la precisione di misurazione. Grazie alle configurazioni flessibili, ai fattori di forma compatti e alla facile integrazione con gli analizzatori Keysight, sono ideali per test parametrici, studi di affidabilità e caratterizzazione a livello di wafer. Richiedete oggi stesso un preventivo per una delle nostre configurazioni più popolari.Avete bisogno di aiuto per la scelta? Consultate le risorse riportate di seguito.
Isolamento a livello femtoampere
Mantieni l'integrità delle misurazioni di corrente ultra bassa con percorsi di commutazione progettati per ridurre al minimo le perdite, ideali per misurazioni di precisione in materiali semiconduttori avanzati.
Espansione flessibile dei canali
Adatto a configurazioni di test complesse con un numero di canali scalabile fino a 48 uscite, supporta dispositivi multi-pin e matrici di test automatizzate in configurazioni a livello di wafer.
Progettazione della correzione della capacità
Garantite la precisione nei test CV ad alta impedenza con percorsi di compensazione della capacità dedicati che riducono la distorsione nelle misurazioni dei dispositivi sensibili.
Integrazione perfetta
Facilmente combinabile con analizzatori di parametri e sistemi di test per dispositivi a semiconduttori, controllati tramite interfacce software intuitive per routine di commutazione automatizzate.
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Minimum current measurement resolution
1 fA to 20 fA
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Maximum output ports
48 to 96
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Isolation
10 TΩ to 100 TΩ
Configurazioni più popolari
Interruttore a bassa dispersione Mainframe
Interruttore di fuga fA Mainframe
Interruttore a bassa dispersione Mainframe
- Manuale di misurazione parametrica
- Manuale di misurazione dell'impedenza
Servizi e assistenza
Innova rapidamente grazie a piani di assistenza personalizzati e tempi di risposta e risoluzione prioritari.
Ottieni abbonamenti prevedibili basati su leasing e soluzioni complete per la gestione dell'intero ciclo di vita, in modo da raggiungere più rapidamente i tuoi obiettivi aziendali.
Beneficia di un servizio di alto livello come abbonato KeysightCare per ottenere assistenza tecnica dedicata e molto altro ancora.
Assicurati che il tuo sistema di test funzioni secondo le specifiche e soddisfi gli standard locali e globali.
Effettua misurazioni rapidamente grazie alla formazione interna con istruttore e all'e-learning.
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Domande frequenti
Una matrice di commutazione a bassa dispersione è un sistema specializzato di instradamento del segnale progettato per collegare strumenti di precisione quali unità di misura della sorgente (SMU), misuratori LCR o unità di misura della capacità a più terminali di dispositivi in modo altamente controllato ed elettricamente isolato. Questi sistemi sono ottimizzati per misurazioni ad alta impedenza e commutazione di corrente ultra-bassa, tipicamente nell'ordine dei femtoampere (fA). La matrice consente l'automazione senza soluzione di continuità dei test su dispositivi multipolari, del wafer probing e dell'analisi di affidabilità senza compromettere l'integrità del segnale richiesta per misurazioni IV o CV sensibili. Consentendo la commutazione automatica tra i pin dei dispositivi, una matrice di commutazione a bassa dispersione riduce al minimo la necessità di ricollegamenti manuali, riducendo così gli errori di misurazione, il rischio di contaminazione e i tempi di test.
La corrente di dispersione può introdurre errori significativi durante la misurazione di segnali ultra-piccoli, in particolare nei dispositivi a semiconduttori avanzati o scalati come ossidi di gate, strati di passivazione, dielettrici sottili e materiali innovativi come semiconduttori organici o materiali 2D. In tali contesti, le correnti target possono essere dell'ordine dei femtoampere o dei picoampere e anche una dispersione minuscola attraverso relè di commutazione, cavi o connettori può distorcere i risultati. Un'elevata resistenza di isolamento (tipicamente >100 TΩ), un basso assorbimento dielettrico e una protezione ottimizzata sono essenziali per mantenere la purezza del segnale. Le matrici di commutazione a bassa dispersione sono costruite con substrati in teflon o ceramica, percorsi triassiali protetti e relè dal design specializzato per sopprimere i percorsi di corrente parassita e mantenere l'integrità di queste delicate misurazioni.
Le matrici di commutazione a bassa dispersione sono tipicamente integrate con sistemi di test parametrici, analizzatori di dispositivi a semiconduttori e wafer prober per la caratterizzazione elettrica automatizzata. Ogni canale della matrice collega i terminali dei dispositivi agli strumenti in modo programmabile tramite software, consentendo una rapida riconfigurazione durante le sequenze di test. Questa integrazione supporta routine di test avanzate come il rilevamento Kelvin, le misurazioni differenziali e le scansioni IV/CV multiterminale. La matrice è spesso controllata tramite comandi SCPI, software basato su GUI (come EasyEXPERT) o framework di automazione in ambienti ad alta produttività. Funzionalità come la commutazione crosspoint, la mappatura della matrice relè e l'attuazione ad alta velocità consentono un coordinamento perfetto tra gli strumenti di commutazione e di misurazione, riducendo al minimo i tempi di inattività e massimizzando la produttività durante i test a livello di wafer o l'analisi dell'affidabilità.
Diversi parametri critici influenzano la scelta di una matrice di commutazione adeguata per le applicazioni dei semiconduttori:
- Numero di canali e configurazione: determinare il numero di ingressi (porte dello strumento) e uscite (connessioni del dispositivo) necessari per l'applicazione. Alcuni modelli supportano fino a 48 uscite con routing configurabile (ad esempio, 4x12, 8x6).
- Corrente di dispersione e resistenza di isolamento: per prove con corrente ultra bassa, selezionare una matrice con dispersione inferiore a un femtoampere e resistenza di isolamento superiore a 100 TΩ per evitare distorsioni nella misurazione.
- Larghezza di banda e capacità: le misurazioni CV ad alta velocità o il rilevamento RF richiedono una larghezza di banda del segnale adeguata e una bassa capacità parassita. Alcune matrici supportano larghezze di banda fino a 30 MHz.
- Resistenza di contatto e durata dei relè: scegliete sistemi con resistenza di contatto bassa e stabile e relè reed o a stato solido di lunga durata, in particolare per ambienti di produzione o di stress test.
- Compensazione della capacità e protezione: cercate caratteristiche specifiche quali percorsi di protezione attivi o linee di correzione della capacità per preservare la fedeltà del segnale in configurazioni ad alta impedenza.
Il design dei relè e della schermatura è fondamentale per la capacità di una matrice di commutazione di mantenere percorsi di segnale ad alta fedeltà. I relè elettromeccanici nelle matrici a bassa dispersione sono selezionati per la loro elevata resistenza di isolamento, bassa capacità parassita e basso assorbimento dielettrico. Molti sistemi utilizzano relè reed racchiusi in vetro sigillato ermeticamente per ridurre al minimo la contaminazione e migliorare la stabilità a lungo termine. Inoltre, tecniche di schermatura quali protezioni guidate, cavi triassiali e percorsi di segnale isolati proteggono le misurazioni sensibili dalle interferenze esterne e dai loop di terra. I layout interni dei PCB includono spesso piani di terra e tracce di protezione per controllare i percorsi di dispersione e l'accoppiamento del segnale. Una schermatura adeguata garantisce che la matrice stessa non diventi una fonte di errore, specialmente quando si misurano nodi ad alta impedenza o si esegue la caratterizzazione CV a basse frequenze.