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Conmutación de alto aislamiento para pruebas de corriente ultrabaja y alta impedancia.
Las matrices de conmutación de baja fuga de Keysight están diseñadas para pruebas automatizadas de semiconductores que requieren mediciones de corriente ultrabajas y un alto rendimiento de aislamiento. Diseñadas para mantener la integridad de la señal a niveles de femtoamperios, estas matrices de conmutación permiten una conmutación fluida entre múltiples dispositivos o nodos de prueba sin comprometer la precisión de la medición. Con configuraciones flexibles, factores de forma compactos y fácil integración con los analizadores de Keysight, son ideales para pruebas paramétricas, estudios de fiabilidad y caracterización a nivel de oblea. Solicite hoy mismo una cotización para una de nuestras configuraciones populares. ¿Necesita ayuda para seleccionar? Consulte los recursos a continuación.
Aislamiento a nivel de femtoamperios
Mantenga la integridad de las mediciones de corriente ultrabaja con rutas de conmutación diseñadas para minimizar las fugas, ideales para mediciones de precisión en materiales semiconductores avanzados.
Ampliación flexible de canales
Acomoda configuraciones de prueba complejas con un número de canales escalable de hasta 48 salidas, compatible con dispositivos multipin y matrices de prueba automatizadas en configuraciones a nivel de oblea.
Diseño de corrección de capacitancia
Garantice la precisión en las pruebas CV de alta impedancia con rutas de compensación de capacitancia específicas que reducen la distorsión en las mediciones de dispositivos sensibles.
Integración perfecta
Se combina fácilmente con analizadores de parámetros y sistemas de prueba de dispositivos semiconductores, controlados a través de interfaces de software intuitivas para rutinas de conmutación automatizadas.
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Minimum current measurement resolution
1 fA to 20 fA
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Maximum output ports
48 to 96
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Isolation
10 TΩ to 100 TΩ
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Type
Matrix, Matrix or Multiplexer
Las configuraciones más populares
Interruptor de baja fuga para chasis principal
Interruptor de fuga fA Mainframe
Conmutador de baja fuga para chasis principal
- El manual de medición paramétrica
- Manual de medición de la impedancia
Servicios y asistencia
Innovar rápidamente con planes de asistencia personalizados y tiempos de respuesta y resolución priorizados.
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Asegúrese de que su sistema de pruebas funcione según las especificaciones y cumpla con las normas locales y globales.
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Preguntas más frecuentes
Una matriz de conmutación de baja fuga es un sistema especializado de enrutamiento de señales diseñado para conectar instrumentos de precisión, como unidades de medida de fuente (SMU), medidores LCR o unidades de medición de capacitancia, a múltiples terminales de dispositivos de una manera altamente controlada y aislada eléctricamente. Estos sistemas están optimizados para mediciones de alta impedancia y conmutación de corriente ultrabaja, normalmente en el rango de los femtoamperios (fA). La matriz permite la automatización perfecta de las pruebas de dispositivos multipin, el sondeo de obleas y el análisis de fiabilidad sin comprometer la integridad de la señal necesaria para mediciones IV o CV sensibles. Al permitir la conmutación sin supervisión entre los pines del dispositivo, una matriz de conmutación de baja fuga minimiza la necesidad de reconexiones manuales, lo que reduce los errores de medición, el riesgo de contaminación y el tiempo de prueba.
La corriente de fuga puede introducir errores significativos al medir señales ultrapequeñas, especialmente en dispositivos semiconductores avanzados o escalados, como óxidos de puerta, capas de pasivación, dieléctricos delgados y materiales novedosos, como semiconductores orgánicos o materiales 2D. En tales contextos, las corrientes objetivo pueden ser del orden de femtoamperios o picoamperios, e incluso una fuga minúscula a través de relés de conmutación, cableado o conectores puede distorsionar los resultados. Una alta resistencia de aislamiento (normalmente >100 TΩ), una baja absorción dieléctrica y una protección optimizada son esenciales para mantener la pureza de la señal. Las matrices de conmutación de baja fuga se construyen con sustratos de teflón o cerámica, rutas triaxiales protegidas y diseños de relés especializados para suprimir las rutas de corriente parásita y mantener la integridad de estas delicadas mediciones.
Las matrices de conmutación de baja fuga suelen integrarse con sistemas de pruebas paramétricas, analizadores de dispositivos semiconductores y probadores de obleas para la caracterización eléctrica automatizada. Cada canal de la matriz conecta los terminales de los dispositivos a los instrumentos de forma programable mediante software, lo que permite una rápida reconfiguración durante las secuencias de prueba. Esta integración admite rutinas de prueba avanzadas, como la detección Kelvin, las mediciones diferenciales y los barridos IV/CV multiterminales. La matriz se controla a menudo mediante comandos SCPI, software basado en GUI (como EasyEXPERT) o marcos de automatización en entornos de alto rendimiento. Características como la conmutación de puntos de cruce, el mapeo de matrices de relés y el accionamiento de alta velocidad permiten una coordinación perfecta entre los instrumentos de conmutación y medición, lo que minimiza el tiempo de inactividad y maximiza el rendimiento durante las pruebas a nivel de oblea o el análisis de fiabilidad.
Hay varios parámetros críticos que influyen en la selección de una matriz de conmutación adecuada para aplicaciones de semiconductores:
- Número de canales y configuración: determine el número de entradas (puertos para instrumentos) y salidas (conexiones para dispositivos) que necesita para su aplicación. Algunos modelos admiten hasta 48 salidas con enrutamiento configurable (por ejemplo, 4x12, 8x6).
- Corriente de fuga y resistencia de aislamiento: Para pruebas de corriente ultrabaja, seleccione una matriz con una fuga inferior a un femtoamperio y una resistencia de aislamiento superior a 100 TΩ para evitar distorsiones en la medición.
- Ancho de banda y capacitancia: Las mediciones CV de alta velocidad o las pruebas de RF requieren un ancho de banda de señal adecuado y una baja capacitancia parásita. Algunas matrices admiten anchos de banda de hasta 30 MHz.
- Resistencia de contacto y vida útil del relé: elija sistemas con una resistencia de contacto baja y estable y relés de láminas o de estado sólido de larga duración, especialmente para entornos de producción o pruebas de estrés.
- Compensación y protección de capacitancia: Busque características específicas, como rutas de protección activas o líneas de corrección de capacitancia, para preservar la fidelidad de la señal en configuraciones de alta impedancia.
El diseño de los relés y el blindaje es fundamental para que una matriz de conmutación pueda mantener rutas de señal de alta fidelidad. Los relés electromecánicos en matrices de baja fuga se seleccionan por su alta resistencia de aislamiento, baja capacitancia parásita y baja absorción dieléctrica. Muchos sistemas utilizan relés de láminas encapsulados en vidrio herméticamente sellado para minimizar la contaminación y mejorar la estabilidad a largo plazo. Además, las técnicas de blindaje, como las protecciones accionadas, los cables triaxiales y las rutas de señal aisladas, protegen las mediciones sensibles de las interferencias externas y los bucles de tierra. Los diseños internos de las placas de circuito impreso suelen incluir planos de tierra y trazas de protección para controlar las rutas de fuga y el acoplamiento de señales. Un blindaje adecuado garantiza que la propia matriz no se convierta en una fuente de error, especialmente cuando se miden nodos de alta impedancia o se realiza la caracterización CV a bajas frecuencias.