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Commutation à haute isolation pour les tests à très faible courant et haute impédance
Les matrices de commutation à faible fuite de Keysight sont conçues pour les tests automatisés de semi-conducteurs qui exigent des mesures de courant ultra-faibles et des performances d'isolation élevées. Conçues pour maintenir l'intégrité du signal aux niveaux du femtoampère, ces matrices de commutation permettent une commutation transparente entre plusieurs dispositifs ou nœuds de test sans compromettre la précision des mesures. Avec des configurations flexibles, des facteurs de forme compacts et une intégration facile avec les analyseurs Keysight, elles sont idéales pour les tests paramétriques, les études de fiabilité et la caractérisation au niveau de la tranche. Demandez un devis pour l'une de nos configurations populaires dès aujourd'hui. Besoin d'aide pour choisir ? Consultez les ressources ci-dessous.
Isolation au niveau femtoampère
Maintenez l'intégrité des mesures à très faible courant grâce à des chemins de commutation conçus pour minimiser les fuites, idéaux pour les mesures de précision dans les matériaux semi-conducteurs avancés.
Extension flexible des canaux
Prend en charge des configurations de test complexes avec un nombre de canaux évolutif pouvant atteindre 48 sorties, prenant en charge les dispositifs multipins et les matrices de test automatisées dans les configurations au niveau des plaquettes.
Conception de correction de capacité
Garantissez la précision des tests CV à haute impédance grâce à des chemins de compensation de capacité dédiés qui réduisent la distorsion dans les mesures des appareils sensibles.
Intégration transparente
Facilement combinable avec des analyseurs de paramètres et des systèmes de test de dispositifs à semi-conducteurs, contrôlés via des interfaces logicielles intuitives pour des routines de commutation automatisées.
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Minimum current measurement resolution
1 fA to 20 fA
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Maximum output ports
48 to 96
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Isolation
10 TΩ to 100 TΩ
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Type
Matrix, Matrix or Multiplexer
Configurations les plus populaires
Commutateur à faible fuite pour unité centrale
Interrupteur à fuite fA Unité centrale
Commutateur à faible fuite pour unité centrale
- Le manuel de mesure paramétrique
- Manuel de mesure de l'impédance
Services et assistance
Innovez rapidement grâce à des plans d'assistance personnalisés et à des délais de réponse et d'exécution prioritaires.
Bénéficiez d'abonnements prévisibles basés sur un contrat de location et de solutions de gestion du cycle de vie complet afin d'atteindre plus rapidement vos objectifs commerciaux.
Bénéficiez d'un service haut de gamme en tant qu'abonné KeysightCare pour obtenir une assistance technique dédiée et bien plus encore.
Assurez-vous que votre système de test fonctionne conformément aux spécifications et respecte les normes locales et internationales.
Effectuez rapidement des mesures grâce à des formations internes dispensées par des instructeurs et à l'apprentissage en ligne.
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Questions fréquemment posées
Une matrice de commutation à faible fuite est un système de routage de signaux spécialisé conçu pour connecter des instruments de précision tels que des unités de mesure de source (SMU), des compteurs LCR ou des unités de mesure de capacité à plusieurs terminaux de dispositifs de manière hautement contrôlée et isolée électriquement. Ces systèmes sont optimisés pour les mesures à haute impédance et la commutation à courant ultra-faible, généralement de l'ordre du femtoampère (fA). La matrice permet une automatisation transparente des tests de dispositifs multipolaires, du sondage de plaquettes et de l'analyse de fiabilité sans compromettre l'intégrité du signal requise pour les mesures IV ou CV sensibles. En permettant une commutation sans surveillance entre les broches des dispositifs, une matrice de commutation à faible fuite minimise le besoin de reconnexions manuelles, réduisant ainsi les erreurs de mesure, le risque de contamination et la durée des tests.
Le courant de fuite peut introduire des erreurs importantes lors de la mesure de signaux ultra-faibles, en particulier dans les dispositifs semi-conducteurs avancés ou miniaturisés tels que les oxydes de grille, les couches de passivation, les diélectriques minces et les nouveaux matériaux comme les semi-conducteurs organiques ou les matériaux 2D. Dans de tels contextes, les courants cibles peuvent être de l'ordre du femtoampère ou du picoampère, et même une fuite minuscule à travers les relais de commutation, le câblage ou les connecteurs peut fausser les résultats. Une résistance d'isolation élevée (généralement > 100 TΩ), une faible absorption diélectrique et une protection optimisée sont essentielles pour maintenir la pureté du signal. Les matrices de commutation à faible fuite sont construites avec des substrats en téflon ou en céramique, des chemins triaxiaux protégés et des relais spécialement conçus pour supprimer les chemins de courant parasites et maintenir l'intégrité de ces mesures délicates.
Les matrices de commutation à faible fuite sont généralement intégrées à des systèmes de test paramétriques, des analyseurs de dispositifs à semi-conducteurs et des testeurs de plaquettes pour la caractérisation électrique automatisée. Chaque canal de la matrice connecte les bornes des dispositifs aux instruments de manière programmable via un logiciel, ce qui permet une reconfiguration rapide pendant les séquences de test. Cette intégration prend en charge des routines de test avancées telles que la détection Kelvin, les mesures différentielles et les balayages IV/CV multiterminaux. La matrice est souvent contrôlée via des commandes SCPI, un logiciel basé sur une interface graphique (tel que EasyEXPERT) ou des cadres d'automatisation dans des environnements à haut débit. Des fonctionnalités telles que la commutation de points de croisement, le mappage de matrices de relais et l'actionnement à grande vitesse permettent une coordination transparente entre les instruments de commutation et de mesure, minimisant ainsi les temps d'inactivité et maximisant le débit pendant les tests au niveau des plaquettes ou l'analyse de fiabilité.
Plusieurs paramètres critiques influencent le choix d'une matrice de commutation appropriée pour les applications semi-conductrices :
- Nombre de canaux et configuration : déterminez le nombre d'entrées (ports d'instruments) et de sorties (connexions d'appareils) nécessaires pour votre application. Certains modèles prennent en charge jusqu'à 48 sorties avec routage configurable (par exemple, 4x12, 8x6).
- Courant de fuite et résistance d'isolement : pour les tests à très faible courant, sélectionnez une matrice avec une fuite inférieure à un femtoampère et une résistance d'isolement supérieure à 100 TΩ afin d'éviter toute distorsion des mesures.
- Bande passante et capacité : les mesures CV à haute vitesse ou le sondage RF nécessitent une bande passante de signal adéquate et une faible capacité parasite. Certaines matrices prennent en charge des bandes passantes allant jusqu'à 30 MHz.
- Résistance de contact et durée de vie des relais : choisissez des systèmes présentant une résistance de contact faible et stable, ainsi que des relais Reed ou à semi-conducteurs longue durée, en particulier pour les environnements de production ou de tests de résistance.
- Compensation de capacité et protection : recherchez des fonctionnalités dédiées telles que des chemins de protection actifs ou des lignes de correction de capacité afin de préserver la fidélité du signal dans les configurations à haute impédance.
La conception des relais et du blindage est essentielle pour que la matrice de commutation puisse maintenir des chemins de signaux haute fidélité. Les relais électromécaniques dans les matrices à faible fuite sont sélectionnés pour leur résistance d'isolation élevée, leur faible capacité parasite et leur faible absorption diélectrique. De nombreux systèmes utilisent des relais à lames enfermés dans du verre hermétiquement scellé afin de minimiser la contamination et d'améliorer la stabilité à long terme. De plus, des techniques de blindage telles que les protections actives, les câbles triaxiaux et les chemins de signaux isolés protègent les mesures sensibles contre les interférences externes et les boucles de masse. Les configurations internes des circuits imprimés comprennent souvent des plans de masse et des traces de protection pour contrôler les chemins de fuite et le couplage des signaux. Un blindage adéquat garantit que la matrice elle-même ne devient pas une source d'erreur, en particulier lors de la mesure de nœuds à haute impédance ou de la caractérisation CV à basses fréquences.