모듈형 PXIe 소스-측정 장치
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저전류 펄스 IV 검사

저전류 및 좁은 펄스 측정을 위해서는 최소한의 노이즈로 극히 미세한 전류 응답을 포착하면서 정밀한 전압 또는 전류를 공급해야 합니다. 일반적으로 테스트 설비에서는 소스-측정 장치(SMU)를 사용하여 역편향 누설 측정 및 펄스 순방향 전류 테스트를 포함한 전류-전압(IV) 특성 분석을 수행합니다. 정확한 측정을 위해서는 저노이즈 연결, 최적화된 조리개 시간, 그리고 정착 효과와 유전체 흡수를 줄이기 위한 제어된 측정 지연 시간이 필수적입니다.

측정 과정에는 전압 스윕 또는 펄스 신호를 설정하고, 펨토암페어에서 밀리암페어 범위에 걸친 전류 응답을 측정하며, 과도 및 정상 상태 거동을 분석하는 단계가 포함됩니다. 좁은 펄스 테스트는 빠른 전이 현상을 포착하기 위해 높은 샘플링 속도가 필요한 반면, 계단 응답 측정은 정착 시간 및 슬루 레이트 성능을 검증합니다. 이러한 방법을 통해 반도체 및 광학 소자를 직류 및 과도 조건 모두에서 특성 분석할 수 있습니다.

저전류 펄스 측정 솔루션

저전류 펄스 측정은 낮은 노이즈와 빠른 과도 응답을 유지하면서 넓은 동적 범위 전반에 걸쳐 정밀한 전류 공급 및 정확한 전류 검출을 필요로 합니다. 이 솔루션은 PXI Express(PXIe) 정밀 소스-측정 장치(SMU)를 사용하여 DC 및 펄스 IV 특성 분석을 모두 수행합니다. 이 솔루션은 펨토암페어 수준의 전류부터 수백 밀리암페어에 이르는 측정을 지원하며, 마이크로초 범위까지의 좁은 펄스 생성이 가능합니다. 이 시스템은 고해상도 측정 기능, 초당 메가샘플에 달하는 빠른 샘플링 속도, 그리고 과도 응답을 포착하기 위한 디지털화 기능을 통합하고 있습니다. 역방향 바이어스 누설 테스트, 펄스 순방향 전류 측정 및 계단 응답 분석을 지원합니다. 구성 가능한 스윕 매개변수, 트리거 제어 및 데이터 내보내기 기능을 갖춘 이 솔루션은 실험실 및 생산 환경 모두에서 반복 가능하고 자동화된 반도체 소자 특성 분석을 가능하게 합니다.

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