フォトダイオードの暗電流の測定方法

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+ フェムト/ピコアンメータおよびエレクトロメータ

逆バイアス暗電流の測定

この試験では、測定中に光がデバイスに届かないよう、密閉された固定具にフォトダイオードを取り付ける必要があります。フォトダイオードのカソードに逆バイアス電圧を印加し、電流計の入力で生じる電流を測定します。測定装置は、想定される低電流範囲にわたって、電圧掃引および電流の取得に対応していなければなりません。

代表的なシリコンフォトダイオードの試験を行うには、500点のデータポイントと20 pAの固定電流範囲を用いて、逆バイアス電圧を10 mVから5 Vまで掃引します。各測定の前にリーク電流や誘電吸収による過渡現象が安定するように、測定遅延を1 s、測定期間を1.2 sに設定します。電流-電圧の結果を対数スケールのX-Yグラフに表示し、迅速に確認できるようにします。

フォトダイオードの暗電流測定ソリューション

この試験では、フォトダイオードの電流を同期して測定しながら、逆バイアス電圧のスイープを行う必要があります。キーサイトのエレクトロメーター／高抵抗計は、電圧源と電流計を1台の測定器に統合しており、各測定点で電流を取得しながら逆バイアス電圧をスイープすることができます。この設定例では、測定には固定の20 pAレンジ、10 mVから5 Vまでの500点のスイープ、および1.2 sの周期で1 sの測定遅延が使用されます。本機器は、電流-電圧曲線を検証するための対数スケールのX軸およびY軸を備えた「グラフビュー」機能を備えており、測定はフロントパネルから、またはSCPIコマンドを使用してリモートで開始することができます。

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