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5517GL レーザーヘッド
The Keysight 5517GL is used primarily in VME and PC based laser interferometer systems where the velocity of motion is faster, such as semiconductor lithography and flat panel applications.
スタート価格:
HIGHLIGHTS
一般仕様
- リニア光学系での最大速度： 2.1 m/s
- 基準周波数： ≧7.2 MHz
- 質量： 3.2 kg
- ウォームアップ時間： 45分（ファンと排気管が排気カバーに接続されている場合）
レーザービーム
- 直径： option009、9 mm（5517GLはオプション009と一緒に注文してください）
- 最小出力光量： 168 μW（3年後、120 μW）
- 最大出力光量： 1 mW
- ビーム高さ： 80.8±1.0 mm
電源要件
- ＋15 V±0.3 V（最大2.2 A）
- －15 V±0.3 V（最大0.03 A）
Keysight 5517GLは、主に、半導体リソグラフィー／フラット・パネル・アプリケーションなどの動きが高速なVME/PCベースのレーザー干渉計システムで使用します。 独自の要件については計測お客様窓口にお問い合わせください。
主な仕様
Beam height (mm)
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
2215**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
> 168
Reference frequency (MHz)
>= 7.2
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
90 (*45)
Beam height (mm)
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
Reference frequency (MHz)
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
80.8
2215**
> 168
>= 7.2
90 (*45)
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Beam height (mm):
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used:
2215**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number:
> 168
Reference frequency (MHz):
>= 7.2
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min):
90 (*45)
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