高抵抗測定では、絶縁抵抗や表面の汚れが原因で大きな誤差が発生することがあります。クリーンな高抵抗システムを維持するには注意が必要です。テスト・リードやフィクスチャでは、絶縁材や汚れた表面薄膜が湿気を吸収して、リーケージが起こりやすくなります。PTFE (1013Ω）と比較した場合、ナイロンやPVC（109Ω）はあまりよい絶縁材料とは言えません。多湿環境で1MΩの抵抗測定をしたとき、ナイロンやPVCからのリーケージで0.1%の誤差が発生することがあります。

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