Como testar a confiabilidade do dielétrico da porta CMOS

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Caracterizar a ruptura do dielétrico da porta em CMOS

A caracterização do dielétrico da porta em semicondutores complementares de óxido metálico (CMOS) requer a aplicação de tensão ou corrente controladas, enquanto se mede o vazamento da porta e o comportamento de ruptura dielétrica. A ruptura dielétrica no tempo zero (TZDB) aplica uma tensão de porta crescente até que ocorra a ruptura, enquanto a ruptura dielétrica dependente do tempo (TDDB) aplica tensão ou corrente constantes e mede o tempo necessário para que o dielétrico entre em falha.

As medições de rampa de tensão (V-Ramp) e de rampa de corrente (J-Ramp) oferecem métodos adicionais para avaliar o comportamento dielétrico. Um teste V-Ramp aumenta a tensão no dielétrico a uma taxa linear constante até a falha, enquanto um teste J-Ramp aumenta a corrente em intervalos de tempo logaritmicamente espaçados. As medições podem capturar parâmetros como a tensão de ruptura, o tempo até a ruptura e a carga total injetada no dielétrico antes da ruptura.

Solução para teste de confiabilidade do dielétrico de porta em CMOS

Os testes de confiabilidade do dielétrico da porta exigem um estresse elétrico controlado, combinado com medições precisas de corrente e tensão, para detectar a ruptura dielétrica. O Analisador de Dispositivos Semicondutores B1500A oferece unidades configuráveis de fonte/monitor para aplicar o estresse e medir o vazamento da porta, incluindo medição de corrente de alta resolução para dispositivos de baixo vazamento. O EasyEXPERT oferece testes de aplicação prontos para uso para medições de ruptura dielétrica no tempo zero (TZDB), ruptura dielétrica dependente do tempo (TDDB), rampa de tensão (V-Ramp) e rampa de corrente (J-Ramp). Os testes V-Ramp e J-Ramp podem determinar parâmetros de ruptura, como a carga total até a ruptura e a tensão de ruptura, enquanto os resultados das medições e as características de corrente-tensão podem ser exibidos e armazenados para análise posterior.
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Diagrama de blocos que ilustra como testar a confiabilidade do dielétrico da porta CMOS

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  • Analisador de parâmetros de dispositivos semicondutores B1500A / Mainframe do sistema de caracterização de semicondutores

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