Come verificare l'affidabilità del dielettrico del gate CMOS

Analizzatore di parametri
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Caratterizzazione della rottura dielettrica del gate CMOS

La caratterizzazione del dielettrico di gate dei circuiti CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor) richiede l’applicazione di una tensione o di una corrente controllata, misurando al contempo la dispersione di gate e il comportamento di rottura dielettrica. Nel test di rottura dielettrica al tempo zero (TZDB) viene applicata una tensione di gate crescente fino al verificarsi della rottura, mentre nel test di rottura dielettrica dipendente dal tempo (TDDB) viene applicata una tensione o una corrente costante e viene misurato il tempo necessario affinché il dielettrico ceda.

Le misurazioni della rampa di tensione (V-Ramp) e della rampa di corrente (J-Ramp) offrono ulteriori metodi per valutare il comportamento dielettrico. Una prova V-Ramp aumenta la tensione applicata al dielettrico a una velocità lineare costante fino al cedimento, mentre una prova J-Ramp aumenta la corrente in intervalli di tempo disposti in modo logaritmico. Le misurazioni consentono di rilevare parametri quali la tensione di rottura, il tempo di rottura e la carica totale iniettata nel dielettrico prima della rottura.

Soluzione per il test di affidabilità del dielettrico dei gate CMOS

I test di affidabilità del dielettrico del gate richiedono una sollecitazione elettrica controllata, abbinata a misurazioni precise di corrente e tensione, per rilevare la rottura dielettrica. L’analizzatore di dispositivi a semiconduttore B1500A offre unità sorgente/monitor configurabili per applicare la sollecitazione e misurare la dispersione del gate, compresa la misurazione della corrente ad alta risoluzione per dispositivi a bassa dispersione. EasyEXPERT offre test applicativi pronti all’uso per le misurazioni della rottura dielettrica a tempo zero (TZDB), della rottura dielettrica dipendente dal tempo (TDDB), della rampa di tensione (V-Ramp) e della rampa di corrente (J-Ramp). I test V-Ramp e J-Ramp consentono di determinare parametri di rottura quali la carica totale alla rottura e la tensione di rottura, mentre i risultati delle misurazioni e le caratteristiche corrente-tensione possono essere visualizzati e memorizzati per successive analisi.

Vedi lo schema a blocchi della soluzione per il test di affidabilità del dielettrico di gate CMOS

Schema a blocchi che illustra come testare l'affidabilità del dielettrico del gate CMOS

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