B1505A 功率元件分析儀/曲線追蹤儀是一款單機解決方案,可用於評估 sub-pA 到 10 kV & 1,500 A 的功率元件。 它具有精確量測 10 µs 脈衝和 µΩ 導通電阻(on-resistance)的量測功能。

產品特性

在各種不同的操作條件下進行精密量測

  • 多合一解決方案,可在 1,500 A 和 10 kV 高功率下分析功率元件特性
  • 具高電壓偏壓(例如 1,200 V 時 500 mA),適合進行中電流量測
  • μΩ 導通電阻量測功能
  • 可在高電壓偏壓下進行準確的 pA(sub-picoamp)級電流量測
  • 可在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 的寬溫範圍內進行全自動熱測試

多元的元件評估功能

  • 可在高達 3,000 V 直流偏壓下執行全自動電容量測(Ciss、Coss、Crss 等)
  • 可在 10 μs 的極短時間內進行高功率脈衝量測
  • 可用於進行封裝元件和晶圓上 IGBT/FET 閘極電荷量測
  • 可快速切換進行高電壓與大電流量測,以便分析氮化鎵(GaN)電流崩陷效應的特性
  • 具有多達 5 個高電壓(3 kV)電源量測通道,提供最大的靈活性
  • 透過互鎖測試夾具執行安全的溫度相關測試

顯著提升量測效率

  • 自動在高電壓和強電流量測之間切換,無需重新布線
  • 自動測試電路形成,可用於封裝元件和晶圓上元件的電晶體接面電容(Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cds 等)量測
  • 具安全互鎖設計的標準測試夾具,可保障封裝功率元件測試的安全性
  • 支援高達 200 A 電流和 10 kV 電壓的晶圓上高功率測試,並確保測試安全性
  • 可在示波器檢視模式中驗證所施加的電壓與電流波形
  • 基於 MS Windows 的 EasyEXPERT 軟體可有效管理資料並簡化資料分析流程

易於升級與擴充的硬體架構

  • 有各種量測模組可供選擇
  • 支援多達 6 個針腳的高功率元件

Keysight B1505A 功率元件分析儀/曲線追蹤儀是市面上唯一具有 sub-picoamp 到 10 kV 和 1,500 A 寬廣量測範圍,可全面分析高功率元件特性的單機式解決方案。 工程師可利用這些功能來評估新型元件(例如 IGBT)和材料(例如 GaN 和 SiC)。 B1505A 支援各種模組:高壓 SMU(HVSMU)、大電流 SMU(HCSMU)、超大電流(UHC)模組、超高壓(UHV)模組,以及高電壓中電流(HVMC)模組。 B1505A 還支援高功率 SMU(1 A/200 V)、中功率 SMU(100 mA/100 V)、中電流 SMU(1 A/30V 脈衝,100 mA/30V 直流),以及多頻電容量測單位(1 kHz – 5 MHz)。 它的 10 插槽模組化主機讓您依量測需求,對 B1505A 進行適當的配置。

此外,它可在高達 3,000 V 的高電壓偏壓下,執行全自動電容量測(例如 Ciss、Coss 和 Crss),並可輕鬆評估閘極電荷(高頻切換轉換器的另一個重要參數)。 可在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 的寬溫範圍內進行自動熱特性分析。

B1505A 軟體環境基於 Microsoft® Windows® 10 作業系統,方便使用者利用曲線追蹤器來查驗元件特性並偵測故障問題。 和傳統的曲線追蹤儀一樣,B1505A 支援旋鈕控制變量掃描功能, 以便即時評估崩潰電壓等參數。 它還具備「示波器檢視」功能,可協助操作人員將施加於元件的電壓和電流最佳化。 量測設定資訊和資料會自動儲存在 B1505A 內建硬碟中, 或是轉存到 USB 隨身碟和其他可攜式儲存裝置。 經過彙整後,工程師可輕鬆地將量測資料複製到工程報告中。

強大的測試夾具解決方案可確保操作人員的安全(避免遭受高電壓和電流衝擊),並支援各種不同的功率元件封裝類型。 傳統的曲線追蹤儀有個限制,就是某些功率元件因尺寸關係而無法加以量測,有時甚至需要臨時加裝轉接器才能測試這些元件。 相較之下,B1505A 的測試夾具可用於各種不同尺寸與形狀的元件,例如功率 MOSFET、二極體、絕緣閘雙極電晶體(IGBT)等。 這是透過具有可客製測試夾具模組的大型測試夾具轉接器實現的。 此外,測試夾具內建的互鎖機制,可確保使用者能夠安全地將高電壓與電流輸入待測元件。

是德科技提供轉換套件,方便使用者將其現有的 B1500A 主機轉換為 B1505A 主機。 如此一來,B1500A 的使用者能以更低的成本,擴充其現有儀器的電壓和電流量測功能。

模組選購指南

量測資源 必備的模組/擴充器 需要的插槽數 最高配置 主要規格
高功率 SMU(HPSMU) B1510A HPSMU 2 4 最高可輸出 200 V 電壓、1A 電流
10 fA 電流解析度中功率 SMU(MPSMU) B1511B MPSMU 1 10 最高可輸出 100 V 電壓、100 mA 電流、10 fA 電流解析度 大電流 SMU(HCSMU) B1512A HCSMU 2 2 20 A/20 V(脈衝);1 A/40 V(直流)*1 高電壓 SMU(HVSMU) B1513C HVSMU 2 5 1,500 V/8 mA;3,000 V/4 mA(脈衝和直流) 中電流 SMU(MCSMU) B1514A MCSMU 1 6 1 A/30 V(脈衝);100 mA/30 V(直流) 多頻電容量測設備(MFCMU) B1520A MFCMU 1 1 1 kHz 至 5 MHz 0 至 ±25 V,使用 MFCMU 內部直流偏壓
0 至 ±3,000 V,使用 HVSMU 和高電壓 T 型偏壓器高電壓中電流模組(HVMCU) N1266A HVSMU 電流擴充器、
B1513B HVSMU
和兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU 4 - 6 1 ±1,500 V/2.5 A(脈衝)、±2,200 V/ 1.1 A(脈衝) 超大電流設備(UHCU) N1265A 超大電流擴充器/夾具,
以及兩個 B1514A MCSMU/B1512A HCSMU 2 - 4 1 1,500 A/60 V(脈衝),22.5 kW 峰值功率,
±500 A/60 V(脈衝),7.5 kW 峰值功率 超高電壓裝置(UHVU) N1268A 超高壓擴充器
和兩個 B1514A MCSMU
,或是一個 B1512A HCSMU
和一個 B1514A MCSMU 的組合 2 - 3 1 10 kV/10 mA(直流);10 kV/20 mA(脈衝)

*1. 藉由使用兩個 HCSMU 和雙 HCSMU 組合轉接器,電流範圍可擴大到 40 A/20 V(脈衝)和 2 A/40 V(直流)。

Microsoft 和 Windows 是微軟公司(Microsoft Corporation)在美國的註冊商標。

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