- 概述
- 所有型號
- 支援
用於半導體元件特性分析的多功能 IV 量測
Keysight 電流-電壓分析儀提供精確、低雜訊的源測量功能，這對於半導體裝置特性分析和材料研究至關重要。這些分析儀設計用於處理從飛安電流到高壓掃描的廣泛電流和電壓範圍，可在各種應用中提供精確、可重複的量測。憑藉彈性的多通道配置和直觀的軟體控制，Keysight IV 分析儀有助於加速裝置開發、可靠性測試和製程最佳化。立即索取我們熱門配置的報價。需要協助選擇？請參閱以下資源。
寬廣的源/量測範圍
支援對各種裝置進行精確的 IV 特性分析，包括先進材料、類比元件和低洩漏結構。
模組化系統架構
輕鬆執行單一裝置或多端點特性分析，非常適合從早期研究到生產品質測試等應用。
脈衝和暫態 IV 功能
使用內建的亞毫秒級解析度脈衝功能和快速量測擷取，可在將自熱效應降至最低的同時，擷取快速裝置行為。
直觀的使用者介面，實現高效控制
EasyEXPERT 軟體透過預先配置的量測範本、即時繪圖和資料比較功能，簡化了測試設定與分析。
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Maximum output current
1 A
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Maximum output voltage
200 V
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最小電流量測解析度
0.1 fA 至 5 pA
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最小電壓量測解析度
0.5 µV 至 100 µV
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Number of channels
Up to 8
最熱門配置
IV 分析儀 / 8 槽式精密型量測主機
精密型 IV 分析儀 / 8 槽式精密型電源量測主機
- 薄層電阻/電阻率量測
- 如何評估電流-電壓特性
服務與支援
透過精選支援方案以及優先回應與周轉時間，加速創新。
取得可預測的租賃式訂閱和完整的生命週期管理解決方案，讓您更快達成業務目標。
成為 KeysightCare 訂閱者，體驗更優質的服務，獲得承諾的技術回應及更多。
確保您的測試系統符合規格要求，並符合當地與全球標準。
透過內部講師指導的訓練和線上學習，快速進行量測。
下載 Keysight 軟體，或將您的軟體更新至最新版本。
常見問題
電流-電壓 (IV) 分析儀是一種精密儀器，旨在透過在元件端子之間提供和量測電流與電壓，來特性化半導體元件的電氣行為。它通常由多個源量測單元 (SMU) 組成，這些單元可以提供電壓或電流，同時量測另一個參數。這些分析儀提供高解析度、低雜訊和寬廣的動態範圍，這些功能對於擷取精確的元件參數至關重要，例如臨界電壓 (Vth)、開/關電流比、漏電流、次臨界斜率、電阻、崩潰電壓和飽和電流。IV 分析儀對於製程開發、元件建模、故障分析和可靠性測試不可或缺，使工程師能夠了解元件在各種電氣應力下的性能。它們在研究環境中也至關重要，因為新穎材料或元件架構（例如有機半導體、2D 材料或鰭式場效電晶體 (FinFET)）需要精細調整的電氣探測。
電流-電壓分析儀功能高度多元，可用於測試各種半導體元件和材料。這包括二極體、BJT、MOSFET 和 JFET 等傳統元件；IGBT、SiC 和 GaN 電晶體等功率元件；以及薄膜電晶體 (TFT)、有機 FET (OFET) 和憶阻器等新興元件。IV 分析儀也適用於評估電阻器和電容器等被動元件、光伏電池和感測器介面。其能夠執行低至飛安培範圍的低電流量測，可精確地對絕緣材料和高阻抗節點進行特性分析，同時支援高達數百伏特的電壓掃描，可進行崩潰分析和高電壓應力測試。包括 SOI 元件、高 K 閘極堆疊和多閘極 FET 在內的多端子結構，可受益於分析儀的多通道配置，其可提供跨多個端子的同步量測。
多通道 IV 分析儀顯著提高了複雜或多裝置結構的測試彈性、平行性和測試覆蓋率。每個通道通常由精密 SMU 供電，可以獨立運作或與其他通道同步，以在特定端子處提供或量測訊號。此功能對於 MOSFET (閘極、汲極、源極、本體)、FinFET 或堆疊晶粒結構等裝置至關重要，因為在不同偏壓條件下量測端子之間的交互作用是不可或缺的。多通道設定還能簡化元件陣列、具有數百個測試點的晶圓或具有晶片上切換矩陣的系統的測試。通道耦合、源極/監測器同步和進階觸發功能可實現跨多個節點的裝置行為即時評估，有助於縮短量測時間，同時提高準確度和重複性。此外，測試序列軟體可增強自動化功能，並支援跨裝置或晶圓的測試計畫重複使用。
脈衝 IV 測量用於擷取半導體裝置的精確電氣特性，同時減輕連續 (DC) 測試期間可能發生的熱效應和電荷陷阱效應。透過施加短持續時間的電壓或電流脈衝（通常在微秒到毫秒範圍內），工程師可以最大限度地減少自熱，這在 SiC 和 GaN 電晶體或垂直結構等功率裝置中尤其成問題。在評估先進材料的介電完整性、臨界值偏移或暫態現象（例如遲滯和陷阱效應）時，脈衝測量也至關重要。在典型實作中，快速 SMU 或專用脈衝測量單元會施加波形，同時記錄響應。專為脈衝操作設計的 IV 分析儀提供嚴格的時序解析度（亞毫秒）、快速恢復和低建立時間。這些功能使工程師能夠建立自訂脈衝設定檔（例如，脈衝保持、雙脈衝），並在實際切換條件下擷取動態行為，這對於驗證高速或高電壓應用至關重要。
在選擇 IV 分析儀時，工程師應仔細評估幾個關鍵性能參數，以符合其應用需求。這些參數包括：
- 電流和電壓範圍：判斷系統是否能處理您裝置的完整源出和量測要求，範圍從次皮安級漏電流到安培級驅動電流，以及從毫伏靈敏度到千伏崩潰電壓。
- 量測解析度和準確度：高解析度 ADC、低輸入雜訊和穩定源對於表徵次臨界洩漏或閘極穿隧等精細電氣特性至關重要。
- 速度和穩定時間：快速測量吞吐量和低穩定時間有助於縮短整體測試時間，特別是在自動化設定或晶圓級測試環境中。
- SMU 通道數：涉及多端子結構或陣列裝置的應用受益於更多的通道數和靈活的配置。
- 軟體整合：圖形化測試軟體、指令碼 API 以及與晶圓探針台或切換矩陣的相容性，對於自動化大型測試套件以及產生可重複、可追溯的結果至關重要。
- 外型尺寸與擴充性：考量系統是否支援模組化和未來升級，以在無需完全更換的情況下增加通道、脈衝單元或高壓模組。