HIGHLIGHTS

  • 他のKeysightレシーバよりも多いレーザ・ヘッドあたりの軸数
  • 高いステージ速度でも2m/sのスルーレート
  • 全周波数レンジおよび最高25:1の振幅レンジで誤差を±1LSBに低減

Keysight E1709A高性能リモート・レシーバは、サブナノメータの測定分解能が要求される厳しいアプリケーションに適しています。

Keysight E1709Aは、モデルKeysight E1708Aの11倍の感度があり、アプリケーションの軸数を2倍以上に増やすことができます。

また、このレシーバはE1708Aの2倍以上の帯域幅を持っているので、線形光学系で2m/s(平面鏡の光学系で1m/s)の速度で変位を正確に測定できます。

ステージ速度が変化すると測定信号の周波数が変化します。Keysight E1709Aは、こうした周波数変化による位相処理誤差を最小限にします。このレシーバは、ステージ移動時のピッチやロール、ヨーといった小さな揺れに起因する測定信号のパワー変化による誤差に対するイミュニティもあります。こうした優れた機能を使用して、移動システムで正確な測定を行うことができます。

  • 軸数が増えた場合にも0.2μWの高感度
  • 高いステージ速度でも2m/sのスルーレート
  • 全周波数レンジおよび最高25:1の振幅レンジで誤差を±1LSBに低減
 
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E1709A Remote High-Performance Receiver

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