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5517FL レーザーヘッド
The Keysight 5517FL is used primarily in VME and PC based laser interferometer systems where the velocity of motion is faster, such as semiconductor lithography and flat panel applications.
HIGHLIGHTS
一般仕様
- リニア光学系での最大速度： 2 m/s
- 基準周波数： ≧7.0 MHz（オプション300： 7.2 MHz、9 mmを選択可能）
- 質量： 3.2 kg
- ウォームアップ時間： 45分（ファンと排気管が排気カバーに接続されている場合）
レーザービーム
- 直径： 6 mm（オプション009： 9 mmを選択可能）
- 最小出力光量： 65 μW（3年後、50 μW）
- 最大出力光量： 1 mW
- ビーム高さ： 80.8±1.0 mm
電源要件
- ＋15 V±0.3 V（最大2.2 A）
- －15 V±0.3 V（最大0.03 A）
Keysight 5517FLは、主に、半導体リソグラフィー／フラットパネルアプリケーションのように動きが高速なVME/PCベースのレーザー干渉計システムで使用します。 独自の要件については計測お客様窓口にお問い合わせください。
主な仕様
Beam height (mm)
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
2152**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
n/a
Reference frequency (MHz)
>= 7.0
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
90 (*45)
Beam height (mm)
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
Reference frequency (MHz)
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
80.8
2152**
n/a
>= 7.0
90 (*45)
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Beam height (mm):
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used:
2152**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number:
n/a
Reference frequency (MHz):
>= 7.0
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min):
90 (*45)
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