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10702A リニア・干渉計
Keysight 10702A リニア干渉計はリニア測定用の基本干渉計で、一般的な1軸測定を実行できます。
ハイライト
Keysight 10702A リニア干渉計はリニア測定用の基本干渉計で、一般的な1軸測定を実行できます。
10702Aには、基準リフレクターとして1つの10703A リフレクターが付属します。 リニア測定光学セットを完成させるには、2個目の10703Aが必要です。 干渉計は、ビームの屈折に使用することはできません。 干渉計を移動コンポーネントにする場合は、10702A オプション001を注文する必要があります。 10703A リフレクターの詳細
ディファレンシャル動作のためには、10703A リフレクターを取り外して、対象の参照面に装着する必要があります。
プレーンミラー動作のためには、10722A プレーン・ミラー・コンバーターと10703A リフレクターが必要です。 これらの部品を追加することで、10702Aを10706A プレーンミラー干渉計に変えることができます。 これらの部品により、プレーンミラーの軸方向の変位測定が可能になります。 10722A プレーン・ミラー・コンバーターの詳細
1つの10722A プレーン・ミラー・コンバーターと1つの10723A 高安定度アダプターを追加すれば、10702Aを10706B 高安定度プレーンミラー干渉計に変えることもできます。 10723A 高安定度アダプターの詳細
- アプリケーション：汎用
- 特長：低コスト
- 軸数：1
- 最大ビームサイズ：6 mm
- ビーム分離：12.7 mm
- 質量：232 g、オプション001では246 g
- 基本光学分解能：λ/2（316.5 nm、12.5 μin）
- システム分解能：λ/64（10 nm、0.4 μin）、32x電子分解能エクステンションを使用した場合
- システム分解能：λ/512（1.2 nm、0.047 μin）、256x電子分解能エクステンションを使用した場合
- リフレクター：10703A
- 使用するマウント：10711A
- 参照：なし
- 構成の変更：あり。 オプション001が必要
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