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多軸干渉計
2軸や3軸で測定する多軸の干渉計を使用する事で、よりコンパクなスペースで確度の高い測定が可能になります。
YHP、HP、アジレントから引き継がれるレーザ干渉計ソリューションのラインナップをご覧ください。
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