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電流-電圧アナライザデバイス特性評価用IV測定システム

モデル: E5270B

概要
オプション
アクセサリ
ソフトウェア
サポート

プレシジョンIVアナライザ/8スロット高精度測定メインフレーム

キーサイト E5270B プレシジョンIVアナライザは、様々な材料やデバイスの電流／電圧特性を評価できるオールインワンソリューションであり、0.1 fAというクラス最高の低電流測定性能を備えています。

最大出力電流

1 A
最大出力電圧

200 V
最小電流測定分解能

0.5 µV
最小電流測定分解能

0.1 fA
Number of channels

Up to 8

View Data Sheet

ハイライト

電流／電圧測定機能

0.1 fA～1A/0.5 μV～200 Vの高確度／高精度測定範囲
スポット測定機能と掃引測定機能
パルススポット／掃引測定（最小500 µsのパルス幅）
ASU（アッセン／スイッチユニット）とHRSMUを組み合わせて使用すれば、0.1 fAの測定分解能、SMU/AUXパス切り替えを実現可能

EasyEXPERT group+ソフトウェア

ユーザーPC上で特性評価環境を使用可能
キーボードとマウスによるわかりやすいGUIベースの操作
迅速なセットアップ／測定を実現する複数の測定モード（アプリケーションテスト、クラシックテスト、クイックテスト）
解析／レポート作成用のグラフィック表示、自動解析機能、Excel/画像データの作成

E5270Bハードウェア

最大8スロットまで測定モジュールを拡張／アップグレード可能
SMU構成には、高分解能SMU(HRSMU)、ミディアムパワーSMU(MPSMU)、ハイパワーSMU(HPSMU)を使用可能。オプションASUはHRSMUでサポート
高分解能／高速A/Dコンバータ(ADC)はインストールされているすべてのモジュールに使用可能
メインフレームのアクティブ・グランド・ユニット(GNDU)：印加電流0 V、シンク電流最大4 A

Keysight E5270B プレシジョンIVアナライザは、さまざまな材料やデバイスの電流／電圧特性を評価することができるオールインワンのソリューションです。E5270Bは、電圧／電流の供給および測定用の複数のSMU（ソース／モニターユニット）をサポートし、0.1 fAのクラス最高の低電流測定性能を備えています。モジュラーアーキテクチャで、8スロットまでSMUモジュールを拡張／アップグレードできます。ご使用のPC上で実行可能なGUIベースのEasyEXPERT group+特性評価ソフトウェアが付属し、測定のセットアップからデータ解析まで、特性評価に必要なすべての作業をサポートしています。SMUの汎用測定機能とGUIベースの特性評価ソフトウェアを統合したE5270Bは、デバイス、材料、半導体、アクティブ／パッシブコンポーネントなど事実上すべてのタイプの電子デバイスの評価に最適なソリューションで、信頼性の高い効率的な測定を実現します。

Keysight EasyEXPERT group+は、対話形式での手動操作または半導体ウェハプローバを用いたウェハ全体の自動化により、測定のセットアップ／実行から解析およびデータ管理まで、特性評価プロセス全体を通して、効率的で再現性のあるデバイスの特性評価をサポートしています。EasyEXPERT group+には、すぐに使用できる測定（アプリケーションテスト）が搭載されているので、電流／電圧の特性評価も簡単に実行できます。また、測定を実行する度にテスト条件や測定データを内蔵データベース（ワークスペース）に自動的に保存できるので、重要な情報が失われることがなく、測定を後日再現することも可能です。Keysight E5270Bは、これらの汎用機能を使用して電流／電圧特性を評価できるオールインワンのソリューションです。

E5270Bは、アナライザとしてだけでなく、ラックアンドスタック型のテストシステム用のシステムコンポーネントSMUとしても使用できます。スケーラビリティに優れ、電流／電圧測定に最適なクラス最高の測定確度を備えています。高度な測定機能をサポートするFLEXコマンドセットにより、リモート制御することができます。