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產品特性
一般規格
- 每張卡提供一個量測通道
- 每個系統最多安裝 7 張卡
- 36 位元二進制補償
- 支援高解析度光學，解析度可達 0.3 nm
- 5.8 MHz 頻分時的線性干涉儀平衡速度：1.75 m/s
使用平面鏡光學元件進行操作
- 解析度：0.6 nm
- 工作範圍： ± 10.6 m
時序
- 位置更新率：10 MHz
- 背板資料速率：> 100 kHz
- 多卡同步：± 2 ns
Keysight 10897D 高解析度 VMEbus 雷射軸卡配備高解析度干涉儀，可提供高達 0.3 nm 的解析度。 極大地降低了資料時代的不確定性，以便對運動系統進行極其準確的量測和控制。
如此高的資料速率，可支援高頻寬和高效能閉環應用。 10897D 配置了合適的雷射和光學元件，可為動態量測提供無與倫比的定位準確度。
主要技術規格
Bus
VME
Max Data rate for direct hardware outputs (kHz)
10000
Max Data rate over bus (kHz)
100
Number of Axes per board
1
Plane Mirror (PM) Resolution (nm)
0.6
System PM velocity limit (mm/s) * depends on laser head, axis board and receiver capability
± 790*
Bus
Max Data rate for direct hardware outputs (kHz)
Max Data rate over bus (kHz)
Number of Axes per board
Plane Mirror (PM) Resolution (nm)
System PM velocity limit (mm/s) * depends on laser head, axis board and receiver capability
VME
10000
100
1
0.6
± 790*
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Bus:
VME
Max Data rate for direct hardware outputs (kHz):
10000
Max Data rate over bus (kHz):
100
Number of Axes per board:
1
Plane Mirror (PM) Resolution (nm):
0.6
System PM velocity limit (mm/s) * depends on laser head, axis board and receiver capability:
± 790*
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