抵抗測定の方法

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抵抗測定時における誤差誘発要素の排除

抵抗器またはその他の類似コンポーネントの特性評価には、残留テストリード抵抗、熱起電力、および測定経路における漏れ電流を含むいくつかの要素に徹底的に焦点を当てる必要があります。テストエンジニアは、正確な結果を得るために、4線接続、オフセット補償、およびガーディングオプションの使用など、さまざまな測定緩和策を実装する必要があります。残留リード抵抗が被試験デバイス (DUT) の抵抗と比較して無視できる場合にのみ、エンジニアは同じテストリードのペアを使用して電流を印加し電圧を測定する基本的な2線接続を実装すべきです。

残留リード抵抗がDUT抵抗に匹敵する極めて低い抵抗測定では、測定誤差を排除するために4線式接続 (リモート・センシング) が必要です。エンジニアは、ケーブルやテスト・フィクスチャにおけるリーク電流を排除するために、バナナ-トライアキシャル・アダプタとトライアキシャル・ケーブルをガード・オプションとして使用する必要があります。これは、特に測定電流がナノアンペア未満の大きな抵抗を測定する場合に重要です。ソース・メジャー・ユニット (SMU) の回路は通常、ガード端子をハイ・フォース・ラインと同じ電位に維持し、これにより電流がケーブルや周囲の測定経路に漏れるのを防ぎます。

抵抗測定ソリューション

あらゆる部品の抵抗値を測定するためには、測定プロセスにおいて、テストリードの残留抵抗、熱起電力、測定経路のリーク電流など、複数の誤差誘発要因を排除する必要があります。キーサイトの抵抗測定ソリューション 、リモート・センス機能（4線接続）、オフセット補償、ガード機能など、これらの測定上の問題に対処するためのさまざまな機能を備えています。ソリューション では、正確で高分解能の抵抗測定が可能になり、6.5桁のソース設定と測定の分解能を実現し、最小10fAと100nVまでのソースと測定の分解能を提供します。
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