Execute automated wafer-level low-frequency noise measurements with turnkey measurement drivers and measurement routines for both A-LFNA and WGFMU.

ハイライト

W7802B PathWave WaferPro A-LFNA 測定およびプログラミングには次の特徴があります:

  • PathWave WaferPro測定プラットフォームとシームレスに統合
  • 高度なデータディスプレイと解析により雑音データ比較とバイアス電流に対するモデリングが可能
  • すべての主要なウエハー・プロービング・システムの自動制御
  • A-LFNAモジュールはDC測定、1/fノイズ、ランダム・テレグラフ・ノイズ(RTN)およびデータ解析機能を備えています。
  • 柔軟なハードウェアアベレージングにより、スループットと確度のトレードオフが可能
  • フリッカーノイズ評価のための複数の内蔵バイアス方式
  • キーサイトのデバイス・モデリング・ソフトウェアと互換性のある測定データ
  • 校正手順のガイドシステム
  • PELおよびPython測定ルーチン言語をサポート
  • RTNのTonおよびToff解析

高性能低周波ノイズアナライザ (A-LFNA) ソフトウェアおよびユーザーインタフェースはPathWave WaferPro測定プラットフォームをベースにしています。 柔軟性と拡張性に優れた測定システムでのウエハーレベルの特性評価を管理/自動化することができます。 以前と同様に、PathWave WaferProを使用している人は、ウェーハプローバ制御を自動化しながら、パラメータ測定として高速DC、キャパシタンス、RFをプログラムし、シーケンスすることができます。 ノイズ測定モジュールを使えば、テストスイートにノイズ測定および解析を追加できるようになりました。

A-LFNAの内蔵測定ルーチンにより、DCとノイズの測定が簡単に行えます。 例えば、N型MOSFETのノイズを測定する場合、デバイスノイズを適切に測定できるように、システムが自動的に最適なソースインピーダンスと負荷インピーダンスを選択します。 ノイズ測定において、システムの推奨設定をそのまま使用するか、設定を変更するかも選択できます。 A-LFNAは次に、ノイズ・パワー・スペクトル密度(1/fノイズ)とタイムドメインのノイズ(RTN)を測定します。 測定データは、「マルチプロット」データ表示ウィンドウにプロットされます。 さまざまなウィンドウタブを使用して、デバイスのDC動作ポイントの評価やパワースペクトル密度曲線のスロープの測定などの作業が容易に行えます。

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