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W7802B PathWave WaferPro A-LFNA 측정 및 프로그래밍
A-LFNA 및 WGFMU를 사용한 반도체 디바이스와 회로의 웨이퍼 레벨 저주파수 노이즈 측정을 자동화할 수 있는 유연한 오픈 테스트 실행 플랫폼
A-LFNA 및 WGFMU 모두에 대한 턴키 측정 드라이버 및 측정 루틴을 사용하여 자동화된 웨이퍼 레벨 저주파수 노이즈 측정을 실행합니다.
주요 특징
W7802B PathWave WaferPro A-LFNA 측정 및 프로그래밍의 특징:
- PathWave WaferPro 측정 플랫폼과의 매끄러운 통합
- 고급 데이터 표시 및 분석, 바이어스 전류 대비 노이즈 데이터 비교 및 모델링
- 모든 주요 웨이퍼 프로빙 시스템의 자동화된 제어
- DC 측정, 1/f 노이즈, 랜덤 텔레그래프 노이즈(RTN) 및 데이터 분석을 지원하는 A-LFNA 모듈
- 스루풋 정확도 트레이드오프를 위한 유연한 하드웨어 평균화
- 플리커 노이즈 특성화를 위한 다중 바이어싱 구조 내장
- 키사이트 디바이스 모델링 소프트웨어와 호환되는 측정된 데이터
- 안내 방식 시스템 교정 절차
- PEL 및 Python 측정 루틴 언어 지원
- RTN에 대한 Ton 및 Toff 분석
A-LFNA(Advanced Low-Frequency Noise Analyzer) 소프트웨어 및 사용자 인터페이스가 PathWave WaferPro 측정 플랫폼 상에 구축되었습니다. 이제 엔지니어는 유연하고 확장 가능한 측정 시스템에서 전체 웨이퍼 레벨 특성화를 관리하고 자동화할 수 있습니다. 이전과 마찬가지로 웨이퍼 프로버 제어를 자동화하면서 PathWave WaferPro를 사용해서 고속 DC, 커패시턴스 및 RF(파라미터 측정 형태)를 프로그래밍하고 시퀀싱할 수 있습니다. 이제 노이즈 측정 모듈을 사용해서 노이즈 측정과 분석 기능을 테스트 제품군에 추가할 수 있습니다.
A-LFNA의 내장된 측정 루틴이 DC 및 노이즈 측정 턴키를 만듭니다. 예를 들어 N-Type MOSFET에서 노이즈를 측정하려는 경우, 시스템은 내재적 디바이스 노이즈를 가장 잘 노출할 소스 및 부하 임피던스를 자동으로 선택합니다. 엔지니어가 이러한 권장 설정을 그대로 사용하거나 변경할 수 있으며, 이후 노이즈 측정이 시작됩니다. 그런 다음 A-LFNA가 시간 도메인의 노이즈(RTN)와 노이즈 전력 스펙트럼 밀도(1/f 노이즈)를 측정합니다. 결과적인 데이터는 “멀티포트” 데이터 표시 창을 사용해서 플롯됩니다. 다양한 탭을 통해 디바이스 DC 작동 지점 평가, 전력 스펙트럼 밀도 곡선 기울기 측정 등 일반적인 작업을 쉽게 진행할 수 있습니다.
역량확대
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