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產品特性
將 Keysight 10768A 對角量測套件與 Keysight 5530 雷射校驗系統搭配使用，可對機具的四個對角進行線性量測，以確定其工作容積。 這些量測可記錄機器的功能，可快速對容積定位效能進行全面檢查。 它還可執行幾小時到幾天的長期漂移測試，以了解溫度對幾何結構可能產生的影響。
10768A 對角量測套件搭配 5530 雷射校驗系統，可為多台機具提供獨特的特徵碼，進而大幅提高對角量測的可重測性。 藉助相同的機器運動，您可輕鬆判斷機器是否符合規格，以預測效能變化。
- 範圍
• 使用線性光學元件時，長達 40 公尺
• 使用長距離選項時，長達 80 公尺 - 解析度
• 1 nm（0.04 µin）10766A 線性光學元件 - 準確度
• ±0.4 ppm Keysight E1738A 空氣感測器
• ±0.1 ppm 真空
• ±0.02 ppm 真空，雷射經 Z540-1 校驗
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