パラメトリック信頼性解析
- ASUR SDR および ASUR PDR データをサポート
- 使い易い
- 素早く信頼性解析を
ASUR RDA は、ASUR トータル・ソリューション用
データ解析を提供します。
ASUR RDA は、高性能低価格の加速信頼性試験およびパラメトリック試験のデータ解析ソリューションで、信頼性解析に最適化されています。ASUR RDA は、試験サイクル・タイムと判断時間の短縮のために、ライフタイム抽出を速めます。
シームレスな信頼性解析のための ASUR RDA
ASUR RDA は、強力な内蔵 EM、HCI および誘電体統計分布のプロットおよびライフタイム抽出をおこないます。先進のフィルタリング、マクロによるデータ操作およびプロット機能を半導体信頼性試験と解析用に誂えることができます。フィルタリングにより特定の解析データ・セットとタスクに制限できるため、大きなデータ・セットを許容できます。マクロは、長い時間にわたるスカラおよびベクトル・データに適用できます。プロットは、ウェハー・マッピングおよび信頼性の統計プロットを含みます。データ・トンネリングにより、ウェハー・ダイの特定の場所、ロット、試験の異常値および特異点まで遡ることが容易になり、信頼性をベースにした最適化プロセスの促進に有効です。
Keysight ASUR RDA は、試験後の統計および物理的な解析のためのソフトウェアです。Keysight ASUR 試験ソフトウェアによって取られた製造、開発、認定のための試験データ解析を支援します。
GUI インタフェースおよび PDQ-WLR データベース・リンクにより、異常なデータ・ソースまたは欠陥データ・ソースへのアクセスが、文字通りマウスをクリックするだけの手軽さで可能になります。
欠陥データをクリックすると、そのデータのソース (ロット、ウェハー、サイト、日付、動作など) が表示されます。データ・ポイントを発生するために使われる I-V カーブがストアされると、もう１回のマウス・クリックでそのデータ・ポントの情報が開示されます。このような特長は、ASUR RDA の測定後の解析能力を洗練された使い易いものにしています。
Keysight ASUR RDA は、標準の統計解析グラフィック・ツールを持っており、最小二乗フィット (LSF) による累積対数正規分布 (CDF) のプロットができます。操作は簡単な GUI-ベースで、統計理論の知識が十分なくても信頼性に必要な複雑な統計解析ができます。たとえば、主母集団または欠陥の母集団にグラフを使ってフィットさせることができます。それから、異常値のデータをクリックし、そのソースを素早く確認することができます。
統計解析ツールに加えて、Keysight ASUR RDA は物理的な信頼性解析機能を有します。物理的な信頼性パラメータは、つぎのようなことについて簡単に決定できます。
- ホット・キャリア劣化ライフタイムの抽出 (Ib、1/Vd および Ig モデル)
- エレクトロマイグレーション活性化エネルギーおよびライフタイムの抽出
加えて、独特の使い易いグラフィカル計算機は、どのようなデータ変数のセットでも演算を実行することができ、先進のユーザに有用です。頻繁に使われる関数は、計算機のウインドウの中のマクロとしてストアでき、アクセスできます。これは、新しい加速モデルを定義し、パラメータを抽出する上で、ユーザに大きな自由度を与えます。スプレッド・シートへのダイレクト抽出およびスプレッド・シートからのインポートができ、さらなるカスタマイズができます。
Keysight ASUR RDA は、製造環境での統計プロセス制御 (SPC) 用のトレンド・チャートもサポートします。完全なデータ操作機能を有し、簡単なグラフィック操作でデータの分類と抽出ができます。異なるロット、試験、工程などからのデータの合体、そのデータ・グループから有用/欠陥/不良データを選り分けるデータ・フィルタなどが含まれます。
ASUR RDA は、つぎのような特長を有します。
- ASUR SDR および PDR 試験プラットフォームによるシームレスな統合: 共通の統合された信頼性解析ツールを提供
- 単一サイトまたは複数サイトの試験結果をサポート
- ベクトルおよびスカラ・データの選り分けにマクロを利用
- フィルタおよび表示フレームのデータ解析のビジュアル表現
- 方法に応じて解析ステップをセーブ
- 長時間にわたる Id vs Vg のような複数のベクトル・セットのプロット
- ワイブル統計分布を内蔵
- 単一または複数ウェハーのウェハー・マッピング: 複数のウェハーのオーバレイ
- WLR 解析を内蔵: EM、HCI、酸化物ライフタイム
- 異常値の迅速な認識と隔離
- ひじょうに大きなデータ・セットに素早く効率的に潜入
- ASCII ファイル入力フォーマット
- データ・セットの Excel へのエクスポート
- データ分類、リミット、抽出
- 科学関数付きグラフィカル・データ計算機
- グラフィカルな方法で指定された任意のデータ範囲を最小二乗フィット (LSF)
- 最小二乗フィット (LSF) で計算した変数の X-Y プロット
- 最小二乗フィット (LSF) による累積対数正規分布 (CDF) のプロット
- 極値分布: 選択された範囲を LSF でプロットし、信頼限界を表示
- ヒストグラム・プロット
- 単一またはロットのウェハー・マップをフル・カラーでレポート
- ライフタイム予測プロット付き EM 活性化エネルギー解析
- HCI ライフタイム解析
- 信頼限界 (上限、下限、両方) 付き LSF のプロット
- 統計プロセス制御 (SPC) のトレンド・チャート
- 生の測定データを表示するための CSV および xgraph
- プレゼンテーション品質のグラフィックス: HPUX/Linux 上の ASUR RDA のために GIF、TIFF、EPS でエクスポート、ウインドウズ上で ASUR RDA のために EMF でエクスポート
