Comment réaliser un criblage structurel complet des circuits intégrés en ligne

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Contrôle structurel en ligne

Le contrôle structurel en ligne des circuits intégrés (IC) permet d'évaluer chaque boîtier de semi-conducteur au cours de la fabrication en mesurant ses caractéristiques électriques, ce qui permet de détecter des anomalies structurelles avant les tests fonctionnels finaux. Cette approche vient compléter les équipements de test automatisés classiques et l'inspection automatisée par rayons X en identifiant les défauts qui ne peuvent être détectés par des tests de continuité ou par un échantillonnage limité.

Le processus de mesure utilise des techniques de détection capacitive pour analyser le couplage entre les structures conductrices internes, telles que les grilles de connexion et les soudures filaires. L'analyse statistique des profils compare chaque dispositif aux références de production, ce qui permet de détecter automatiquement les anomalies structurelles tout en assurant une inspection continue sur les lignes de production à haut volume.

Solution de contrôle structurel en ligne

Pour réaliser un contrôle structurel complet en ligne des circuits intégrés, il est nécessaire d'intégrer un système d'inspection électrique à grande vitesse directement dans le flux de production des semi-conducteurs, sans ralentir le débit de fabrication. La solution associe le testeur structurel électrique de Keysight à une technologie de sondes améliorée par test capacitif sans vecteur, afin d'inspecter les structures internes des boîtiers immédiatement après les tests effectués par les équipements de test automatisés. Le système détecte les défauts structurels, notamment l'affaissement des fils, les quasi-courts-circuits, le mauvais positionnement des puces et les anomalies de fabrication des boîtiers, qui ne peuvent pas être identifiés par une simple inspection électrique ou par rayons X. L'analyse intégrée des moyennes de test des composants surveille en continu les variations de production et met à jour dynamiquement les limites de contrôle afin de réduire les rejets erronés. Prenant en charge jusqu’à 20 sites de test parallèles et offrant un débit atteignant 72 000 unités par heure, cette solution permet une inspection en ligne complète pour la fabrication en grande série de semi-conducteurs destinés à l’automobile, tout en réduisant les défauts non détectés et en améliorant la qualité des produits.
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