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10775A 장거리 직진도 옵틱
최대 30 m(100 ft)의 이동 거리에서 측정을 수행합니다.
주요 특징
키사이트 10775A 장거리 직진도 옵틱은 직진도 간섭계 및 반사계를 결합하여 최대 1 ~ 30 m(3 ~ 100 ft)의 거리에서 측정값을 제공합니다. 이 옵틱은 0.1마이크로미터(10마이크로인치)의 분해능으로 기계 공구 및 측정 기계 좌표 모션 이동의 직진도를 측정하는 고도로 정확한 광 직선 자입니다.
키사이트 10775A 장거리 직진도 솔루션과 키사이트의 5530 레이저 교정 시스템을 사용하면 각 어플리케이션의 물리적 레이아웃과 측정 요구사항에 맞게 간섭계 시스템을 맞춤 설정할 수 있습니다.
- 직진도 측정 정확도
- 전반적인 정확도 = 광 레퍼런스 정확도 + 측정 정확도.
- 이는 광 레퍼런스 정확도가 직선 자 정확도에 해당하고 측정 정확도가 표시기 정확도에 해당하는 전통적인 직선 자 및 표시기를 사용한 직진도 측정 방법과 유사합니다.
- 광 레퍼런스 정확도
- 직선 자(미러) 반전 기술을 사용해서 광 레퍼런스 부정확성을 제거할 수 있습니다.
- 미터법 단위 모드: ±0.015 M2 µm
- 영국식 단위 모드: ±0.05 F2 µin
- 설명:
- M = 이동하는 옵틱의 이동 거리(미터).
- F = 이동하는 옵틱의 이동 거리(피트).
- Measurement Accuracy
- 온도 범위 표시된 값:
- 0 µm ~ 100 µm 100 ~ 1,500 µm
- 0 µm ~ 4000 µm 4000 ~ 60,000 µm
- 15° C ~ 25° C ±5% ±2.5% ±02.55 µm(10 µin)
- 0°, C ~ 40° C ±7.5% ±2.5% ±5 µm(20 µin)
- 직진도 측정 분해능
- 키사이트 5519A, 키사이트 5519B
- 0.1 µm(4 µin) 36 µm(14 µin)
- 직진도 측정 범위(축 이동에 수직)
- ±1.5 mm(0.060 in)
- 축 분리(이동)
- (간섭계와 반사기 사이 거리, 통상, 올바른 정렬 사용, 15° C ~ 25° C): 1 m ~ 30 m (3 ft ~ 100 ft)
- 고도의 정확도, 난기류에 덜 민감
- 키사이트 55283A 직진도 측정 키트와 함께 사용해 거리를 늘릴 수 있습니다
- 고분해능 평면 미러
- 키사이트 5530 레이저 교정 시스템을 포함한 다양한 키사이트 시스템에 사용할 수 있습니다
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