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5517EL 레이저 헤드
키사이트 5517EL은 주로 반도체 리소그래피 및 평판 분야와 같이 모션 속도가 더 빠른 VME 및 PC 기반 레이저 간섭계 시스템에 사용됩니다.
주요 특징
일반
- 최대 속도(선형 옵틱 포함): 1.55 m/s
- 레퍼런스 주파수: 5.8 MHz 이상
- 무게: 3.2 kg(7파운드)
- 예열 시간: 45분(팬과 배기구가 통풍 커버에 연결된 경우)
레이저 빔
- 직경: 6 mm
- 최소 출력 전력: 65 µW(3년 후 50 µW)
- 최대 출력 전력: 220 µW
- 빔 높이: 80.8 ± 1.0 mm
입력 전력 필요량
- +15 V ± 0.3 V(최대 2.2 A에서)
- -15 V ± 0.3 V(최대 0.03 A에서)
키사이트 5517EL은 주로 반도체 리소그래피 및 평판 분야와 같이 모션 속도가 더 빠른 VME 및 PC 기반 레이저 간섭계 시스템에 사용됩니다. 맞춤 요구 사항은 키사이트에 문의하십시오.
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주요 사양
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