주요 특징

키사이트 10735A 3축 간섭계는 스테이지의 선형 및 각도 제어가 필요한 다축 분야에서 사용됩니다. 광학 벤치 기능과 여러 개의 빔 벤더, 빔 분리기 및 세 개의 간섭계를 하나의 패키지로 결합한 제품입니다. 이 간섭계는 유입되는 레이저 빔을 세 개의 빔으로 분리하여 선형 거리, 피치 및 편요각 또는 선형 거리, 롤 및 편요각을 측정합니다. 세 개의 선형 측정값이 두 개의 각도 측정값을 계산하기 위한 토대를 제공합니다. 내재적인 빔 평행도로 인해 세 측정값들 간 코사인 오차가 없으며 피치 및 편요각 측정값의 각도 정확도가 보장됩니다. 기타 특성:

  • 고성능 패키지로 설정 시간 절약 및 시스템 성능 개선
  • 간단한 다축 설치
  • 보다 나은 제어를 위한 높은 각분해능
  • 넓은 각도 범위
  • 기계적 안정성을 극대화하기 위한 모노리식 옵틱
  • 미리 정렬된 광섬유 원격 수신기 장착
  • 기준 옵틱

10735A는 3개의 병렬 빔 경로를 생성하기 위한 두 개의 전단판, 세 개의 큐브 코너, 한 개의 기준 미러 및 두 개의 1/4 파장판을 포함합니다.

10735A와 10736A는 측정 빔 패턴을 제외하고 동일합니다.

  • 응용 분야: 3개의 선형 평면 미러 측정(X-축의 변위, Z-축의 편요각, Y-축의 피치)
  • 주요 특징: 1개의 선형 및 2개의 각도 평면 미러 측정
  • 축 수: 3개
  • 최대 빔 크기: 9 mm
  • 빔 간격: 사양 참조
  • 무게: 5.5 kg(12파운드 2.4온스)
  • 기본 광 분해능: λ/4(158.2 nm, 6.2 µin)
  • 시스템 분해능: 변위 λ/128(5 nm, 0.2 µin), 편요각 0.039 arcsec(0.19 µrad), 피치 0.049 arcsec(0.24 µrad), 32x 전자 분해능 확장 사용 기준
  • 시스템 분해능: 변위 λ/1024(0.62 nm, 0.024 µin), 편요각 0.0049 arcsec(0.024 µrad), 피치 0.0061 arcsec(0.029 µrad), 256x 전자 분해능 확장 사용 기준
  • 시스템 분해능: 변위 λ/4096(0.15 nm, 0.006 µin), 편요각 0.0012 arcsec(0.006 µrad), 피치 0.0015 arcsec(0.007 µrad), 1024x 전자 분해능 확장 사용 기준
  • 반사기: 10728A
  • 사용된 마운트: 맞춤형
  • 레퍼런스: 예
  • 돌려진 구성: 해당 없음(턴만 해당)

레이저 간섭계 위치 측정 시스템에 대해 자세히 알아보십시오.

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10735A Three Axis Interferometer

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