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SPECS/SPECS-FAソフトウェア
数十年の業界標準パラメトリックテスト環境
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ハイライト
SPECS(半導体プロセス評価コアソフトウェア)
キーサイトSPECSはLinuxベースの4080シリーズのパラメトリック・テスト・システム用テストシェル環境です。 4070シリーズからのテストプランとアルゴリズムにコード互換性があるので、システム遷移コストを最小限に、既存のコード資産を利用可能で、かつ最新の低価格Linux環境での保有コストを下げることができます。
キーサイトSPECS-FA、キーサイトSPECSテストシェルのファクトリー・オートメーション・バージョンは4080シリーズのパラメトリック・テスト・システム上で動作します。
キーサイトVMT(Virtual Multiple Testhead)ソフトウェアはさらにアドバンスド非同期および同期のパラレルテストで使用可能であり、測定作業ごとに個別に実行し測定スループットを向上させることができます。
SPECSソフトウェア
SPECS(半導体プロセス評価コアソフトウェア)はキーサイト・パラメトリック・テスト・システム用に自動化され、インタラクティブで統合されたテスト環境を提供します。 テスト開発環境は直観的なGUI(グラフィカル・ユーザ・インタフェース)を採用しオペレーターやテストエンジニアにとって使いやすいインターフェースでモジュラー・テスト・プランをサポートします。
- キーサイト4080用シリーズに自動化され、インタラクティブで統合されたテスト環境を提供
- テスト開発環境は直観的なGUIを採用しモジュラー・テスト・プランをサポートします。
- アルゴリズム開発ツールにはアルゴリズムライブラリ、デバッグツール、自動テストコード作成機能が含まれています。
- データベースと連携するデータ解析のためのオンラインレポート


SPECS-FAソフトウェア
SPECS-FA(半導体プロセス評価コアソフトウェア – ファクトリーオートメーション)はSPECSテストシェルに基づいたキーサイトのパラメトリックテスタ用ファクトリー・オートメーション・ソフトウェア・ソリューションです。 SPECS-FAにより、ウエハーメーカーは迅速な立ち上げや継続的な改善、効果的な機器配備やプロセスモニタリングが実現できます。
- 柔軟なテストコントロールやマルチレシピ管理でのファクトリーオートメーション
- SEMI規格E5 (SECS II)、E30 (GEM)、E87 (CMS)、E39 (OSS)、E40 (PMS)、E90 (STS)およびE94 (CJM)に対応
- リアルタイムでのパラメトリック・テスト・システムとウエハープローバーの両方のステータスをレポート
VMT(Virtual Multiple Testhead)技術
スループット向上は、量産ウエハー製造でのテストのコストを下げるのに常に重要です。 SPECS搭載のキーサイト4080シリーズ・パラメトリック・テスト・システムはソフトウェアライセンスによるVMT技術を搭載しています。 この技術で測定作業ごとに個別に実行することができます。 従来のパラレルテスト方式とは異なり、測定に無駄がありません。 1組のリソースが測定を終えるとすぐに、次の測定をすぐに開始することができます。 実質的な効果は1台のテスターに独立した複数のテストヘッドを搭載したようなもので、測定スループットを大幅に向上させます。

ソフトウェアサブスクリプション付属ソフトウェア
SPECS/SPECS-FAは購入時の新パラメトリックテスタごとに36か月間のサブスクリプションサービスを提供してきました。 ソフトウェアメディアを購入すると、36か月間のソフトウェア・メディア・サブスクリプションが任意で提供されます。
最新の機能拡張や不具合修正を施したソフトウェアを維持するために、キーサイトはSPECS/SPECS-FAソフトウェアとソフトウェア・アップデート・サービスを更新することを推奨します。 サブスクリプションサービス内で最新のソフトウェアを利用できるほか、現地のキーサイトのAEエキスパートによるリモートでの技術的な電話サポートを受けることができます。
パラメトリック・テスト・システムの機能を拡張
注目のリソース
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