WaferPro Express 2015.01の紹介

WaferPro Expressは、自動ウェーハレベル測定を効率的に実行するための新しいソフトウェアプラットフォームです。WaferPro Expressは、複雑なシステムを簡素化し、測定データを解析するための日常のテストプランの設定／実行作業を容易にします。WaferPro Expressは、キーサイト（および特定のキーサイト以外）の測定器およびプローバ制御ソフトウェア（温度制御を含む）をドライブします。また、高度なデータ処理／表示機能を備えています。

WaferPro Expressは、キーサイト・テクノロジーとCascade Microtech社が提供するウェーハレベル測定ソリューション(WMS)のコアとなるソフトウェアコンポーネントです。WMSは、キーサイトの測定器およびソフトウェア、Cascade Microtech社のウェーハプローバ、アクセサリ、ソフトウェアから構成されています。新規にWMSシステムを設置した場合、その検証は新しいKeysight検証サブストレート(KVS)によって行われます。各KVSは工場で完全に特性評価されていて、RF校正後にG-S-Gプローブによってプロービングできる標準デバイスが付属しています。WaferPro Express 2015.01は、初期のシステム検証の工程中にKVSを測定します。その後、測定値と工場のデータを比較し、システムが適切に動作することを保証します。WMSの詳細については、ウェーハレベル測定ソリューション – Cascade Microtechを参照してください。

WaferPro Express 2015は、Cascade MicrotechのVelox 2.0プローバ制御ソフトウェアと独自に統合できる革新的な機能を備えています。WaferPro ExpressとVelox 2.0の統合はCascade MicrotechのWaferSyncを介して、共同開発された双方向の通信リンク機能によって実現されます。このリンクによりウェーハマップが完全に同期し、ソフトウェア間で情報（ウェーハアライメント、サイト、ダイ情報など）を簡単に間違いなくやりとりできます。

RF測定中に最高の効率を実現するために、WaferPro ExpressはRF校正の安定度を定期的にモニタします。これにより、不正確なデータの収集で浪費される時間を最小にできます。

WaferPro Express 2015のその他の新しい機能として、Keysight PNA-Xによる雑音指数測定のサポートと、Keysight IC-CAP モデリング／測定ソフトウェアで開発したテストルーチンのインポート機能があります。

以下は、WaferPro Express 2015.01の2つの特長の概要です。WaferPro Express 2015.01の新機能を含む詳細な情報については、WaferPro Express 2015.01 What's Newをご覧ください。

WaferPro ExpressとVelox 2.0

Cascade MicrotechのVelox 2.0は、Cascadeの半自動／全自動プローバ（SUMMIT、Elite300、CM300）用の新しいプローバ制御ソフトウェアです。WaferPro Express 2015.01とVelox 2.0のリンクは、WaferSysncを介して、2つのプログラム間のLANベースの双方向通信リンクによって実現されます。WaferPro Expressは、Cascade制御PC(Windows 7)または別のWindows PC/LINUX PCのどちらかにインストールできます。

WaferSyncを使用すれば、WaferPro Expressは、直接、Veloxの通信サーバに接続できるので、より多くの情報を統合できます。例えば、VeloxとWaferPro Expressの間で、ウェーハマップとサブサイトテーブルの情報をやりとりできます。さらに、WaferPro Expressは長いテストプランの実行中にWinCalに接続して校正安定度をモニタでき、校正が正確でなくなった場合に、テストプランを一時停止してユーザーに電子メールを送信するので、対策を行うことができます。

下図は、VeloxとWaferPro Expressのウェーハマップです。通常、ユーザーは最初にウェーハアライメントをVeloxで実行し、ウェーハマップをVelox環境で作成します。ボタンをクリックするだけで、ダイの選択、インデックス、リファレンスを含むウェーハマップ情報がWaferPro Expressにインポートされ、テストプラン作成に使用できるようになります。

図1: WaferPro ExpressとVelox 2.0のウェーハマップの同期

WaferPro ExpressとVelox 2.0の動作を実際に確認したい場合は、「正確なRFウェーハレベル自動測定を実行する方法」のビデオをご覧ください。

IC-CAPからのテストルーチンのインポート

WaferPro Expressのテストルーチンは一般的なIC-CAP DUTで使用されているものと同じです。IC-CAPユーザーは、一般的な測定テストが実装されたIC-CAPプロジェクトの広範なライブラリーを持っている場合があり、これには、測定データを後処理する数行のPELコードも含まれます。WaferPro 2015.01を使用すれば、既存のIC-CAPのリソースを十分に活用でき、これらのルーチンをすぐにロードしてテストプランに使用できます。新しいユーザーインタフェースで、IC-CAPのMDL/DUTファイルをロードし、特定のルーチンをWaferPro Expressライブラリーにインポートできます。

図2: 新しい“Select Routines from File”ダイアログにより、IC-CAPのルーチンを簡単にインポートできます。

試用

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