Keysight Technologies LCRメータおよびインピーダンス・アナライザを用いた誘電率／透磁率の測定ソリューション
アプリケーションノート
はじめに
材料評価測定システムは、3つの主な要素から構成されます。1つめは高精度の測定器、2つめは被試験材料を保持するテストフィクスチャ、3つめは誘電率や透磁率などの基本的な材料パラメータを計算して表示するソフトウェアです。誘電率と透磁率の測定方法としては現在さまざまなものが存在します（表1参照）。このアプリケーションノートでは主にインピーダンス測定テクノロジーを使用する方法について説明します。この方法には以下のような利点があります。
- 20 Hz ～ 1 GHzの広い周波数レンジ
- 高い測定確度
- 測定準備（材料の加工や測定のセットアップ）が簡単
最初にセクション2で誘電率に関する測定方法、システム、ソリューションを紹介し、次にセクション3で透磁率を扱います。その後、付録で抵抗率測定システムと液体の誘電率測定システムに関して説明します。近年、電子機器のテクノロジーが飛躍的に進化し、電子部品の材料特性が回路の動作に及ぼす影響が大きくなっています。例えば、デジタル（メディア）機器で採用が増えている大容量の積層セラミックコンデンサ（MLCC）の製造ではκ（誘電率）が高い材料を使用する必要があります。また、材料を選択する前に周波数応答や温度応答といったさまざまな電気性能の評価を行う必要もあります。電子機器以外の分野でも材料の電気特性の評価が一般的に行われるようになっています。これは、固体や液体などの材料の組成や化学的変異を知るために、電気特性の応答を性能パラメータとして使用できるからです。