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주요 특징
SPECS(반도체 공정 평가 코어 소프트웨어)
키사이트의 SPECS는 Linux 기반 4080 시리즈 파라메트릭 테스트 시스템을 위한 테스트 셸 환경입니다. 4070 시리즈와 테스트 계획 및 알고리즘의 코드 호환성을 갖추고 있어 시스템 전환 비용을 최소화하고 기존의 코드 자산을 활용하며 최신 저비용 Linux 환경을 통해 소유 비용을 줄일 수 있습니다.
키사이트 SPECS 테스트 셸의 공장 자동화 버전인 키사이트 SPECS-FA는 4080 시리즈 파라메트릭 테스트 시스템에서 실행됩니다.
또한 키사이트의 VMT(가상 다중 테스트 헤드) 기술을 통해 고급 비동기 및 동기 병렬 테스트를 수행하여 별도의 측정 작업을 독립적으로 실행하고 측정 스루풋을 개선할 수 있습니다.
SPECS 소프트웨어
SPECS(반도체 공정 평가 코어 소프트웨어)는 키사이트 파라메트릭 테스트 시스템과 관련해 자동화된 대화식 통합형 테스트 환경을 제공합니다. 테스트 개발 환경은 직관적인 GUI(그래픽 사용자 인터페이스)를 활용하며 통신사업자와 테스트 엔지니어가 쉽게 사용할 수 있는 인터페이스와 함께 모듈식 테스트 계획을 지원합니다.
- 키사이트 4080 시리즈를 위한 자동화된 대화식 통합형 테스트 환경 제공
- 테스트 개발 환경이 직관적인 GUI를 활용하며 모듈식 테스트 계획 지원
- 알고리즘 라이브러리, 디버깅 도구, 자동 테스트 코드 생성 기능을 포함하는 알고리즘 개발 도구
- 데이터베이스와 연결되는 데이터 분석을 위한 온라인 보고 기능


SPECS-FA 소프트웨어
SPECS-FA(반도체 공정 평가 코어 소프트웨어 – 공장 자동화)는 키사이트 파라메트릭 테스터를 위한 SPECS 테스트 셸 기반의 공장 자동화 소프트웨어 솔루션입니다. SPECS-FA는 웨이퍼 제조업체의 빠른 역량 강화, 지속적인 개선, 효율적인 장비 배포 및 공정 모니터링을 지원합니다.
- 유연한 테스트 제어와 다수의 레시피 관리를 통한 공장 자동화
- SEMI 표준 E5(SECS II), E30(GEM), E87(CMS), E39(OSS), E40(PMS), E90(STS), E94(CJM) 지원
- 실시간으로 파라메트릭 테스트 시스템과 웨이퍼 프로버의 상태 보고
VMT(가상 다중 테스트 헤드) 기술
대규모 웨이퍼 제조 시 테스트 비용을 줄이기 위해서는 항상 스루풋을 개선하는 것이 굉장히 중요합니다. 키사이트의 4080 시리즈 파라메트릭 테스트 시스템과 SPECS는 VMT 기술을 갖추었으며 소프트웨어 라이선스를 지원합니다. 이 기술을 통해 별도의 측정 작업을 독립적으로 수행할 수 있습니다. 기존의 병렬 테스트 방식과는 다르게 모든 측정값을 십분 활용합니다. 하나의 리소스 집합이 측정을 마치는 즉시 그다음 측정을 시작할 수 있습니다. 궁극적으로 다수의 독립적인 테스트 헤드를 하나의 테스터에서 활용하는 것과 같아 측정 스루풋이 대폭 개선됩니다.

구독 서비스를 갖춘 소프트웨어
SPECS와 SPECS-FA는 새로운 파라메트릭 테스터를 살 때마다 36개월 구독 서비스를 제공해 왔습니다. 소프트웨어 미디어를 구매하면 36개월 소프트웨어 미디어 구독 서비스를 선택적으로 제공합니다.
소프트웨어에 최신 개선 사항과 결함 수정 사항을 적용하기 위해, 키사이트는 SPECS 및 SPECS-FA 소프트웨어와 관련해 소프트웨어 업데이트 구독을 갱신할 것을 권장합니다. 구독 서비스에서 최신 소프트웨어에 액세스할 수 있으며 현지 키사이트 AE 전문가에게 원격 기술 지원을 요청할 수도 있습니다.
파라메트릭 테스트 시스템의 역량 확대
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