주요 특징

키사이트 10715A 차동 간섭계는 제공된 레퍼런스 미러와 측정 평면 미러 간 차동 측정을 수행합니다. 10715A 차동 간섭계를 사용하면 간섭계를 통과하는 전체 광 경로가 공통 모드를 사용해 측정에서 열 변이가 제거되므로 데드 경로가 최소화됩니다. 측정 분해능은 리니어 또는 싱글 빔 간섭계의 두 배입니다.

10715A 차동 간섭계는 반사기 3개, 빔 벤더 및 1/4 파장판 2개를 포함합니다. 

간섭계가 빔을 돌려야 하는 옵티컬 레이아웃에 키사이트 10715A 옵션 001을 사용할 수 있습니다.

레이저 간섭계 위치 측정 시스템에 대해 자세히 알아보십시오.

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10715A Differential Interferometer

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