WaferPro Express 2016.04 제품 릴리즈

WaferPro Express 2016.04 소개

WaferPro Express는 자동화된 웨이퍼 레벨 측정을 효율적으로 수행하기 위해 특별히 설계된 새로운 소프트웨어 플랫폼입니다.

WaferPro Express는 웨이퍼 레벨 측정 시스템 복잡성 감소를 지원하고, 측정 데이터를 분석하기 위한 일상적인 설정 작업과 테스트 계획을 단순화합니다. WaferPro Express는 키사이트(및 엄선된 키사이트 이외) 계측기뿐만 아니라 프로버 컨트롤 소프트웨어(온도 제어 포함)를 견인하며 강력한 데이터 처리 및 디스플레이 기능을 제공합니다.

WaferPro Express는 또한 키사이트테크놀로지스와 Cascade Microtech의 웨이퍼 레벨 측정 솔루션(WMS)의 주요 콤포넌트입니다. WMS는 키사이트 계측기와 소프트웨어뿐만 아니라 Cascade Microtech 웨이퍼 프로버, 액세서리 및 소프트웨어도 포함합니다. 새로 설치된 WMS 시스템의 검증은 새로운 키사이트 검증 기판(KVS)을 사용해서 수행합니다. 각각의 KVS는 공장에서 완전하게 특성 분석되고 엔지니어가 RF 교정 후 G-S-G 프로브로 프로빙할 수 있는 표준 디바이스를 탑재하고 있습니다. WaferPro Express 2016.04는 최초 시스템 검증 절차 수행 중에 KVS를 측정한 다음, 측정된 데이터와 공장 데이터를 비교하여 시스템의 적절한 운영을 인증합니다. WMS에 대해 더 자세히 알아보려면 웨이퍼 레벨 측정 솔루션 – Cascade Microtech를 참조하십시오.

WaferPro Express 2016.04는 Cascade Microtech Velox 2.0 프로버 컨트롤 소프트웨어와의 독점적 통합을 더욱 개선합니다. WaferPro Express와 Velox 2.0은 공동 개발한 양방향 통신 링크인 Cascade Microtech의 WaferSync를 통해 통합됩니다. 이 링크는 웨이퍼 정렬, 사이트 및 다이 정보를 포함해서 소프트웨어 간 간편하고 에러 없는 정보 교환을 위해 완전한 웨이퍼 맵 동기화를 지원합니다.

이전 릴리즈는 IC-CAP에서 직접 루틴을 가져올 수 있는 능력이 추가된 반면, WaferPro Express 2016.04는 다양한 새로운 디바이스 유형, 테스트 루틴 및 예제를 추가합니다. 처음으로 Python 예제가 제공되는 것 외에도, 새로운 PEL과 Python 자습서가 추가되었습니다. 이들은 사용자가 루틴 데이터 분석을 맞춤 구성하거나 내장 계측기 드라이브를 고객 측정 알고리즘으로 대체하는 데 도움을 줄 수 있는 프로그래밍 방법을 보여줍니다.

WaferPro Express 2016.04는 이제 부분 테스트 계획을 실행할 수 있는 능력을 제공하며 이 기능은 전체 웨이퍼 실행 후 사용자가 특정 측정을 반복하려고 할 때 유용합니다.

아래는 WaferPro Express 2016.04 주요 특징 및 새로운 기능(PDF, 1.79MB)에서 확인할 수 있는 새로운 특징을 포함한 WaferPro Express 2016.04 추가 정보와 세부사항, WaferPro Express의 두 가지 주요 특징에 대한 개요입니다.

WaferPro와 Velox 2.0

Cascade Microtech의 Velox 2.0은 Cascade의 반 자동화 및 완전 자동화 프로버를 위한 새로운 프로버 컨트롤 소프트웨어입니다(SUMMIT, Elite300 및 CM300). WaferPro Express 2016.04는 두 개 프로그램 간 LAN 기반 양방향 통신 링크인 WaferSysnc를 통해 Velox 2.0에 대한 링크를 개선합니다. WaferPro Express는 Cascade 컨트롤러 PC(Windows 7) 또는 별도의 Windows나 LINUX PC에 설치할 수 있습니다.

WaferPro Express는 WaferSync를 사용해서 Velox 통신 서버에 직접 연결되며 이를 통해 통합을 크게 개선할 수 있습니다. 예를 들어, 이제는 Velox와 WaferPro Express 웨이퍼 맵과 기판 표 간에 정보를 교환할 수 있습니다. 또한 WaferPro Express는 장기적 계획 실행 중에 WinCal에 연결하고 교정 안정성을 모니터링할 수 있으며, 교정이 더 이상 정확하지 않을 경우 테스트 계획을 일시 정지하고 사용자에게 이메일 메시지를 전송하여 조치를 취할 수 있게 합니다.

아래 그림은 Velox와 WaferPro Express 웨이퍼 맵을 보여줍니다. 일반적으로 사용자는 먼저 Velox에서 웨이퍼 정렬을 수행하고 Velox 환경에서 웨이퍼 맵을 생성합니다. 버튼을 클릭하면 다이 선택, 인덱싱, 레퍼런스를 포함한 웨이퍼 맵 정보를 WaferPro Express로 가져오고 테스트 계획 생성에 사용할 준비를 합니다. WaferPro Express 2016.04는 다이 맵 출처, 방향 및 레퍼런스 다이를 포함한 Velox에서 웨이퍼 맵을 가져오기 때문에 이 특징을 추가로 개선합니다.

그림 1: WaferPro Express와 Velox 2.0 웨이퍼 맵의 동기화.

작동 중인 WaferPro Express와 Velox 2.0을 확인하려면 “RF 웨이퍼 레벨 측정을 정확하게 수행하는 방법” 동영상을 시청하십시오. (링크 필요)

부분적 테스트 계획 실행

aferPro Express 2016.04에서 중요하게 고려되고 있는 새로운 특징은 바로, 부분적 테스트 계획을 실행할 수 있는 능력입니다. 테스트 계획을 실행한 후 사용자는 이전 실행의 결과에 기반한 일부 측정을 반복할 것인지 결정할 수 있습니다. 사용자는 테스트 계획 시작 대화 창에서 “실행 컨트롤러”를 활성화해 새로운 디바이스 몇 개만 순서대로 실행할 것인지 특정 다이를 반복할 것인지 결정할 수 있습니다. 이전에 실행한 측정의 결과는 마지막 컬럼에서 편리하게 보고합니다. 그림 2는 실행 컨트롤러의 스크린샷을 보여줍니다.

그림 2: 새로운 “실행 컨트롤러” 확인란을 통해 사용자는 부분적 테스트 실행을 정의할 수 있습니다.

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