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オンウエハ MEMSデバイス評価システム
ハイソル MEMSデバイス測定システム
真空および高低温環境下で、高精度にMEMSデバイスのオンウエハ評価が可能なシステムです。
ハイソル 真空高低温セミオート・プローバと、Keysight 半導体デバイス・アナライザ、インピーダンス・アナライザ、RFネットワーク・アナライザ等を組み合わせることにより、オンウエハで、等価定数や、トランスミッション特性シミュレーション、Sパラメータ、I-V・C-V測定などのMEMSデバイス特性を自動取得できます。
ウエハ面内の自動測定および、特性ランク分けによるBINマッピングにも対応可能です。
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