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オンウエハ RTN評価/高速 I-V測定システム
ハイソル RTN評価/高速I-V 測定システム
CMOSイメージセンサや、最先端MOSFETデバイスのランダム・テレグラフ・ノイズ(RTN)評価、および高速I-V、パルスI-V測定に対応するプローブシステムです。
パルス発生、高速I-V測定、タイム・ドメイン測定をワンボックス・ソリューションにて提供するB1500A WGFMUモジュールの革新的な性能を最大限に活用できます。
超低ノイズ測定環境での-60℃ ~ +300℃の高低温サーマルテストに対応。セミオート・プローバではウエハ面内自動測定に対応しています。
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